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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          德?lián)P光電有限公司


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          全自動光罩對準(zhǔn)曝光機

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          更新時間:2023-06-19 20:01:10瀏覽次數(shù):170次

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          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:6條

          所在地區(qū):

          產(chǎn)品簡介

          產(chǎn)品簡介: 全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出, 自動對位曝光,可一天24小時操作,減少人力需求,提高可靠性,增加產(chǎn)量, 本公司開發(fā)之高產(chǎn)量全自動曝光機, 對位制程每小時可產(chǎn)出250片以, 無對位制程每小時可產(chǎn)出350片以上, 產(chǎn)量為業(yè)界,兩倍于其他廠牌機型。

          詳細(xì)介紹

          全自動光罩對準(zhǔn)曝光機

          適合工業(yè)界24小時量產(chǎn)使用
          產(chǎn)品簡介:

          全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出, 自動對位曝光,可一天24小時操作,減少人力需求,提高可靠性,增加產(chǎn)量, 本公司開發(fā)之高產(chǎn)量全自動曝光機, 對位制程每小時可產(chǎn)出250片以, 無對位制程每小時可產(chǎn)出350片以上, 產(chǎn)量為業(yè)界,兩倍于其他廠牌機型。

          紫外光源機型有功率 : 350W,500W,1000W,2000W,3500W,5000W 。

          曝光光源尺寸 : 4″,6″,8″,10″,12″ 。

          波長 : NUV(含365nm,400nm,435nm),光源平行半角 : 1.5~2.5度(依出光口徑) 。

          均勻度: +-3~5%,高壓汞燈泡及電源供應(yīng)器。

          采用固定倍率鏡頭, 預(yù)對臺一支或兩支鏡頭做粗定位, 進(jìn)片位置兩支鏡頭做初步對位, 曝光位置兩支鏡頭做精密對位。

          相機可采類比或數(shù)位,可使用百萬晝素相機, 由PC之客制化對位軟體,做影像自動對位。

          影像打光有 : LED同軸光或環(huán)形光, 可選背面對準(zhǔn)影像系統(tǒng)機型。

          可將來自輸入臺的基板作靠邊粗定位, 以便進(jìn)片手臂送至對準(zhǔn)臺做精密對準(zhǔn)。

          左手小手臂可輸入預(yù)對臺上之基板至對準(zhǔn)臺, 與取出曝光后之基板至輸出臺。

          晶舟輸入臺由基板推入器將基板傳至預(yù)對臺.曝光后的基板, 由導(dǎo)出臺傳至輸出臺之晶舟,未完成之基本移至退片臺。

          光罩真空吸盤 : 上吸式或下吸式 4″, 5″,6″,9″ 。

          晶圓真空吸盤 : 2″, 4″, 6″,8″ 具光罩晶圓水平校正功能。

          曝光模式可選 : 真空接觸式與近接式, X,Y,T軸馬達(dá)調(diào)整 10mm,解析度 1um, Z軸馬達(dá)調(diào)整 5mm,解析度 1um,

          上光罩開啟以取放基板, 自動對準(zhǔn)動作依自動對準(zhǔn)軟體計算結(jié)果由PLC控制調(diào)整。

          PLC及人機界面控制系統(tǒng)和工業(yè)電腦之自動對準(zhǔn)軟體, 作基板輸出入及對準(zhǔn)曝光程序自動操作。

          具四個防震氣墊,具調(diào)整腳及移動輪, 鋁擠型機架加鋁板及黃色PVC抗靜電包覆機臺, 開數(shù)個操作與維修門窗及視窗。

          產(chǎn)量依對位精度及曝光時間而不同, 近接曝光機型可達(dá)每分鐘 5片,

          采真空接觸曝光圖形解析可達(dá) 1um以內(nèi), 采近接式曝光依晶圓與光罩間距設(shè)定約在 5~10um。

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