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          德?lián)P光電有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：德?lián)P光電有限公司>>光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)>>桌上型曝光機(jī)
            
          
			
          
				
          
					
          桌上型曝光機(jī)
          
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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號(hào)
          
							
          品       牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)其他
          
		                    							
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								更新時(shí)間：2023-06-21 11:56:04瀏覽次數(shù)：187次
							
          
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          經(jīng)營(yíng)模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：6條
          
						
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 保有全手動(dòng)之完整功能， 取消手動(dòng)機(jī)下方之機(jī)架以及后方之箱體，做最簡(jiǎn)化之設(shè)計(jì)， 適合預(yù)算不多之客戶 。
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                  
                   
                               
                                        
                    
                        
           
          桌上型曝光機(jī)
            
          適合研究單位使用 
            
          產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 
          保有全手動(dòng)之完整功能， 取消手動(dòng)機(jī)下方之機(jī)架以及后方之箱體，做最簡(jiǎn)化之設(shè)計(jì)， 適合預(yù)算不多之客戶 。
           
                  
               
                
                   
          曝光燈源
           
          紫外光源功率 : 350W or 500W 。
           
          曝光光源尺寸 : 4″， 5″ ，6″ ， 8″。
           
          波長(zhǎng) : NUV(350W時(shí)365nm強(qiáng)度約16~20mW/cm2) 。
           
          均勻度 : +-5% 。
           
          電源供應(yīng)器 : 定功率控制 。
           
          快門(mén)控制計(jì)時(shí)器 : 0.1~999.9秒。
           
           
          影像系統(tǒng)
           
          采用可變倍率鏡頭影像系統(tǒng)，總影像倍率100X-600X， 小型高解析黑白CCD攝影機(jī)，
           
          19"LCD熒幕 LED同軸光源打光，影像解析度可達(dá) 1um 鏡頭位置調(diào)整，可前后左右上下微調(diào)約 20mm ，
           
          可選擇使用一組或兩組影像系統(tǒng)， 選配快速掃描臺(tái)，可快速移動(dòng)鏡頭，前后左右移動(dòng)約 10cm 。
           
           
          曝光對(duì)準(zhǔn)臺(tái)
           
          光罩真空吸盤(pán) : 4"，5″， 6" 下吸式 。
           
          晶圓真空吸盤(pán) : 破片，2"，3″ ，4″ 或  5" ，具光罩與晶圓平行面校正功能，
           
          晶圓真空吸盤(pán)可前后左右調(diào)整約 10mm，調(diào)整靈敏度 1um 旋轉(zhuǎn)調(diào)整約 5度，
           
          調(diào)整靈敏度 0.001度 Z軸可調(diào)整約 3mm， 調(diào)整靈敏度 1um， Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距， Z軸可設(shè)定對(duì)準(zhǔn)與曝光兩種間隙，
           
          可調(diào)整接觸真空吸附力大小， 曝光模式有 Vacuum contact，Soft contact， Proximity，
           
          人工置放晶片與調(diào)整晶片位置，取放晶圓時(shí)光罩吸盤(pán)以手開(kāi)啟。
           
           
          操作系統(tǒng)
           
          采全手動(dòng)撥鈕操作系統(tǒng)以手動(dòng)控制面板操作。
           
          操作項(xiàng)目包括光罩與晶圓之更換，光罩與晶圓間隙之切換， 光罩與晶圓平行面校正，真空接觸之切換與真空值調(diào)整Z軸的歸零，
           
          鏡頭與曝光源左右交替移至對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上方，并有安全互鎖功能。
           
           
          機(jī)座
           
          桌上型大底板機(jī)座，具調(diào)整腳。
           
           
          性能
           
          采真空接觸曝光圖形解析可達(dá) 1um， 近接曝光依光罩與晶圓間隙可達(dá) 3~5um。
           
               
                
                       
            
			        
          
			    
          
                			    
                                                				
          
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