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BG-401A曝光機(jī)

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更新時(shí)間：2023-07-14 08:39:37瀏覽次數(shù)：470次

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三河建華高科有限責(zé)任公司

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產(chǎn)品簡介

主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光

詳細(xì)介紹

主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高、重復(fù)性好，并具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。

主要技術(shù)特點(diǎn)

對準(zhǔn)工作臺(tái)

對準(zhǔn)精度搞，漂移小，精密楔形誤差補(bǔ)償機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)找平，找平力小，延長掩摸版使用壽命。

曝光系統(tǒng)

采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學(xué)件，具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。

分離視場顯微鏡

在X、Y方面進(jìn)行大范圍掃描觀察，可進(jìn)行單視場或雙視場切換，提高對準(zhǔn)效率和套準(zhǔn)精度，同時(shí)兼容CCD成像顯示功能。

控制系統(tǒng)

電氣控制采用可編程序控制器（PLC）、LCD顯示器，操作方便，汞燈電源易于觸發(fā)，可靠性高。該設(shè)備的關(guān)鍵件采用進(jìn)口或?qū)I(yè)廠家制造，氣動(dòng)元件采用SMC產(chǎn)品，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性，同時(shí)提供個(gè)性化服務(wù)

主要技術(shù)指標(biāo)

性能名稱		技術(shù)指標(biāo)
適用基片尺寸		Max. φ4″（φ100mm）
適用掩模版尺寸		Max. 5″（125mm×125mm）
工作臺(tái)行程	Ｘ向	±5mm
	Y向	±5mm
	Z向	3mm
	θ向	±12°
基片與掩模版分離間隙		0～0.05mm
對準(zhǔn)精度		±1μm
分離視場顯微鏡	目鏡	10×
	物鏡	10×
	物鏡分離距離	28～90mm
	掃描范圍	50mm×50mm
	調(diào)焦范圍	8mm
曝光光源		250W進(jìn)口超高壓汞燈
光強(qiáng)		≥15mW/cm²
曝光面積		φ108mm
曝光分辨率		1.5μm（真空接觸）
曝光不均勻性		±3%
曝光時(shí)間		0～999s
整機(jī)功率		1000W
外型尺寸（長×寬×高）		740mm×830mm×1300mm