精品乱码一区内射人妻无码-亚洲中文AⅤ中文字幕在线-免费不卡国产福利在线观看-国产综合无码一区二区色蜜蜜

          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          三河建華高科有限責(zé)任公司


          當前位置:三河建華高科有限責(zé)任公司>>黃光區(qū)設(shè)備>>SB-602雙面曝光機

          SB-602雙面曝光機

          返回列表頁
          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

          更新時間:2023-07-11 11:03:42瀏覽次數(shù):270次

          聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)

          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:8條

          所在地區(qū):

          產(chǎn)品簡介

          該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機械系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域的雙面對準和曝光

          詳細介紹

          該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機械系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域的雙面對準和曝光。

          主要技術(shù)特點

          對準工作臺

          高精度薄型精密雙層三維對準工作臺,采用交叉滾柱V形導(dǎo)軌副和θ向超薄軸承及中心滑塊結(jié)構(gòu),保證了工作臺的直線性和旋轉(zhuǎn)精度。

          機械手機構(gòu)

          機械手采用直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠結(jié)構(gòu),具有高的定位精度和重復(fù)精度。

          上版架系統(tǒng)

          上掩模版的升降導(dǎo)軌選用THK可調(diào)分離型直線導(dǎo)軌,驅(qū)動采用高分辨率的數(shù)顯微分頭,從而保證兩掩模版的重復(fù)精度和定位精度。

          對準觀察系統(tǒng)

          雙光路結(jié)構(gòu)的臥式分離視場顯微鏡,可以獲取高清晰的圖像同時兼容CCD成像顯示。

          曝光系統(tǒng)

          上、下兩套獨立的紫外光曝光系統(tǒng),采用*的結(jié)構(gòu)方案,具有較高的光強、均勻性、光學(xué)分辨率。

          主要技術(shù)指標

           

          性能名稱

          技術(shù)指標

          適用基片尺寸

          Max. φ6″(φ150mm)

          適用掩模版尺寸

          Max. 7″(175mm×175mm)

          上下掩模版對準行程

          X向

          ±4mm

          Y向

          ±4mm

          θ向

          ±7.5°

          上下掩模對準精度

          ±3μm

          掩模版對基片對準行程

          X向

          ±4mm

          Y向

          ±4mm

          θ向

          ±5°

          掩模對基片對準精度

          ±3μm(以單一面兩標記形位檢測)

          機械手Z向行程

          5mm

          機械手與下掩模版分離距離

          0~100μm

          顯微鏡

          物鏡放大率

          6.5×

          目鏡放大率

          10×

          總放大倍數(shù)

          65×

          物鏡分離距離

          90~140mm

          曝光光源

          365nm,500W進口汞燈

          光強

          20mW/cm2

          曝光面積

          φ160mm

          曝光分辨率

          6um(正膠、膠膜膜厚不大于1um)

          曝光不均勻性

          ±5%

          曝光時間

          0~999s

          外型尺寸

          1178mm×1136mm×1752mm

          重量

          560Kg

           

          關(guān)鍵詞:
          曝光
          模版
          對準
          精度
          結(jié)構(gòu)
          系統(tǒng)
          采用
          分離
          機械手

          其他推薦產(chǎn)品更多>>

          感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

          智能制造網(wǎng) 設(shè)計制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.tzhjjxc.com,All rights reserved.

          以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責(zé),智能制造網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

          會員登錄

          ×

          請輸入賬號

          請輸入密碼

          =

          請輸驗證碼

          收藏該商鋪

          登錄 后再收藏

          提示

          您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
          鲜城| 蕲春县| 正安县| 河西区| 南投县| 乌苏市| 连云港市| 闻喜县| 华池县| 汉源县| 固阳县| 广西| 称多县| 花垣县| 新安县| 拜泉县| 和平区| 闵行区| 怀仁县| 股票| 全州县| 武陟县| 东乡县| 敖汉旗| 郴州市| 珲春市| 乳山市| 翁源县| 桐梓县| 从江县| 南郑县| 瑞金市| 观塘区| 扎囊县| 同江市| 个旧市| 常山县| 广西| 双鸭山市| 元氏县| 英山县|