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          行業(yè)產(chǎn)品

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          沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司


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          KS-C300 12寸 集束型涂膠顯影機(jī)

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          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

          更新時(shí)間:2023-06-19 12:03:28瀏覽次數(shù):428次

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          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:3條

          所在地區(qū):

          產(chǎn)品簡介

          KS-C300涂膠顯影機(jī)可用于封裝、 MEMS、OLED等領(lǐng)域的涂覆顯影制程,每小時(shí)可加工180片晶片,同時(shí)產(chǎn)品可兼容不同材質(zhì)的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產(chǎn)品可應(yīng)用于邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領(lǐng)域。國產(chǎn)化集成電路設(shè)備的成功應(yīng)用為客戶節(jié)約了大量成本。產(chǎn)品通過SEMI S2認(rèn)證。

          詳細(xì)介紹

          產(chǎn)品優(yōu)勢:

          1.適合超薄晶圓處理,超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
          2.涂膠單元特殊設(shè)計(jì),避免高黏度膠離心涂敷時(shí)產(chǎn)生的“棉花糖"現(xiàn)象
          3.機(jī)臺為全封閉模塊化結(jié)構(gòu),工藝單元靈活選配
          4.占地面積小,產(chǎn)能高
          5.工藝上可實(shí)現(xiàn)5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板采用漸進(jìn)式烘焙
          6.可滿足工廠自動化需求,無人值守

          應(yīng)用領(lǐng)域:

          ● 封裝
          ● OLED 領(lǐng)域
          ● MEMS

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