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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司>>勻膠顯影機(jī)>>半自動勻膠顯影機(jī)2
            
          
			
          
				
          
					
          半自動勻膠顯影機(jī)2
          
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          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號
          
							
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								更新時間：2023-12-03 08:23:48瀏覽次數(shù)：234次
							
          
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          經(jīng)營模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：10條
          
						
          所在地區(qū)：浙江寧波市
          
																		
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          手動上、下片
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			              手動上、下片，自動對位和自動滴膠、顯影，晶圓背部清洗（BSR），邊緣清洗（EBR）  CUP腔體自動清洗，CUP方便拆卸，限度減少光刻膠及顯影液堆積  膠嘴具有保濕功能，防止由于勻膠機(jī)間歇生產(chǎn)而造成光刻膠干化                                                                                                                                晶片尺寸
            2-12英寸，圓形及方形基片，光刻膠旋涂及顯影工藝
            
            主要技術(shù)參數(shù)
            1、晶片尺寸： 2-12寸 
            2、上下料方式： 手動取送片 
            3、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
            額定轉(zhuǎn)速： 6000 rpm 
            最小調(diào)整量： 1rpm 
            轉(zhuǎn)速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm） 
            4、吸盤(Chuck) 
            晶片固定方式： 真空吸附
            吸盤真空檢測： 數(shù)顯真空壓力傳感器
            材質(zhì)： PPS、陶瓷（可根據(jù)客戶提供材質(zhì)制作）
            5、收集杯材質(zhì)(CUP)： PP，氣液分離排放 
            6、供液方式： 自動供膠、自動顯影
            7、光刻膠黏度： MAX. 10000CP
            8、光刻膠種類： MAX. 3種
            9、光刻膠保濕功能： 丙酮藥液保濕盒
            10、光刻膠清洗功能： 晶圓背部清洗；晶圓邊緣清洗
            11、顯影液種類： MAX. 2種
            
            12、光刻膠/顯影液過濾： 有，0.1um/0.2um可選  
            
            
            
            應(yīng)用行業(yè)
            廣泛服務(wù)于MEMS、OLED、光通信、SAW、*封裝、科研等領(lǐng)域
                                                      
			        
          
			    
          
                			    
          關(guān)鍵詞：真空壓力傳感器
          
                                                				
          
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