精品乱码一区内射人妻无码-亚洲中文AⅤ中文字幕在线-免费不卡国产福利在线观看-国产综合无码一区二区色蜜蜜

      

        

          

	
          
		
          
			
			
            
			
          
				
          
					
          
						
          
							
          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
            • 
                            						
          
					
          
					
					
					
				
          
			
          
			
          
		
          
	
          
    
          
		
          
            			
          
				
          寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司>>勻膠顯影機(jī)>>標(biāo)準(zhǔn)型全自動勻膠顯影機(jī)
            
          
			
          
				
          
					
          標(biāo)準(zhǔn)型全自動勻膠顯影機(jī)
          
					返回列表頁
				
          
				
				
          
					
					

				
          
		            
			
          
				
          
					
											
          參  考  價(jià)面議  
          
					                    
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號
          
							
          品       牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)其他
          
		                    							
          所  在  地
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
          聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時(shí)間：2023-06-11 10:19:46瀏覽次數(shù)：824次
							
          
							聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
          
				
          
				
			
          
            
						
          
			
          
						
          
				
				
          
					
					
          
						
          
                                                        
                                                    
          
						
          經(jīng)營模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：10條
          
						
          所在地區(qū)：浙江寧波市
          
																		
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          設(shè)備采用高效機(jī)械手，重復(fù)定位精度高、產(chǎn)能高，自動完成勻膠、顯影工藝；配備烘烤及冷卻單元，工藝參數(shù)數(shù)字化檢測控制，自由編制、修改、儲存、調(diào)用工藝程序；故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳?；操作簡便，維修便利
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            設(shè)備采用高效機(jī)械手，重復(fù)定位精度高、產(chǎn)能高，自動完成勻膠、顯影工藝；配備烘烤及冷卻單元，工藝參數(shù)數(shù)字化檢測控制，自由編制、修改、儲存、調(diào)用工藝程序；故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳?；操作簡便，維修便利。主軸電機(jī)采用進(jìn)口交流無刷伺服電機(jī)，保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加控制精度高、重復(fù)性、穩(wěn)定性好；光刻膠采用精密計(jì)量泵供應(yīng)，精度高，供液穩(wěn)定，出膠量設(shè)定方便。                                                                                                                          晶片尺寸
          2-6英寸，圓形及方形基片，光刻膠旋涂及顯影工藝
          主要技術(shù)參數(shù)
          1、晶片尺寸： 2-6英寸 
          2、上下料方式： 高效機(jī)械手自動傳送 
          3、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
               額定轉(zhuǎn)速： 6000 rpm 
               加速度： 30000rpm/s
               最小調(diào)整量： 1rpm 
               轉(zhuǎn)速精度：  ±1rpm（50 rpm～6000 rpm） 
          4、吸盤(Chuck) 
               夾持方式： 真空吸附
               吸盤真空檢測： 數(shù)顯真空壓力傳感器
          5、 收集杯材質(zhì)(CUP)： PP，氣液分離排放 ，腔體底部傾斜式曲面、廢液、排風(fēng)分離
          6、 CUP自動清洗功能： 有(與預(yù)清洗RINSE為同一管路)
          7、 CUP結(jié)構(gòu)： 4層CUP，增加導(dǎo)流層
          8、 電機(jī)漏液防護(hù)功能： 有
          9、 光刻膠/顯影液過濾： 有，0.1um/0.2um可選；FFU可選配氨分子過濾裝置
          10、 熱/冷處理單元： 可選升降過程可控的頂針結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)式加熱/冷卻過程
          普通熱板溫控： 50.0—120.0℃；  ≤±0.6℃    
                                 150.1—180.0℃； ≤±0.8℃
          高精度熱板溫控：50.0—90.0℃；   ≤±0.5℃
                                    90.1—120.0℃；  ≤±0.6℃
                                   120.1—150.0℃； ≤±0.7℃
          冷板溫控： 20.0—25.0℃；≤±0.1℃
          11、HMDS:  可選，漸進(jìn)式加熱/降溫可選
          12、光刻膠供應(yīng)： 采用高精度氣動/電動計(jì)量泵
          13、顯影液供應(yīng)： 采用N2加壓
          14、藥液溫控： 20℃~25℃  ±0.1℃； 水浴恒溫
          15、滴膠精度：±0.1ml ；回吸精度：2±0.5mm；滴膠范圍：0.6-3ml
          16、光刻膠膠嘴：數(shù)量≤3，粘度≤10000CP，可選配BARC。膠嘴自動清洗/膠嘴保濕功能
          17、預(yù)清洗膠嘴： RRC RINSE 1個(gè)
          18、工作方式： 自動供膠，自動顯影，自動取送片，連續(xù)傳片1000片無碎片
          19、恒溫恒濕控制：可選精密溫濕度控制器   （THC）
          20、邊緣曝光WEE單元：365（I-line）；照射范圍0.5~10mm；UV 照射：linear/ Round
          21、與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)：可選擇interface接口，與光刻機(jī)進(jìn)行聯(lián)機(jī)
          22、顆粒度控制： 空跑運(yùn)行測試，新增顆?！?0顆（0.2um）
          23、勻膠膜厚均勻性：Wafer ≤1% ； Wafer to Wafer≤1%  （Max-Min）/（2*均值）
          24、顯影CD均勻性： within Wafer≤3%，Wafer to Wafer≤3% （Max-Min）/（2*均值）
          應(yīng)用行業(yè)
          廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、LED、封裝、MEMS、OLED、SAW、光通信、科研等領(lǐng)域
                                                      
			        
          
			    
          
                			    
                                                				
          
                    其他推薦產(chǎn)品更多>>
                
          
				
                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
          您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
          
			
          
			
		
          
	
          
    	
	
          
		
          智能制造網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.tzhjjxc.com,All rights reserved.
          
		以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，智能制造網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
		溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
        
	
          
    
        








          
	
          
		
          
			
          會員登錄
          
			×
		
          
		
          
				
          
					
          
						
						
          請輸入賬號
          
					
          
				
          
				
          
					
          
						
						
          請輸入密碼
          
					
          
				
          
				
          
					
          =
                       
          請輸驗(yàn)證碼
          
                    
          
				
          
				
          
		
          
	
          

          

    
          
        
          
            
            
          收藏該商鋪
          
            
          請 登錄 后再收藏
          
        
          
    
          

    
          
        
          
            
            
          提示
          
            
          您的留言已提交成功！我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~