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          寧波潤華全芯微電子設備有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          8英寸勻膠顯影機 ACD8 COATER&DEVELOPER
          
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          具體成交價以合同協議為準
          
				
          
				
				
          
						
          
							
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								更新時間：2023-11-17 08:03:29瀏覽次數：248次
							
          
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          經營模式：其他
          
						
          商鋪產品：10條
          
						
          所在地區(qū)：浙江寧波市
          
																		
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          
				
          
				
          
                    詳細介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                                                                                                                              
              
            設備配置  2C2D、4C、4D  
            
            設備產能  120WPH  
            
            襯底材質  Si、Glass等  
            
            線寬  ≥90nm  
            
            適用工藝  i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC  
            
            應用領域  IC、*封裝、MEMS、功率器件、射頻集成、科研等  
            
            技術特征  ?設備占地面積小，產能高，工藝單元靈活選配；
            ?熱板采用漸進式烘烤，冷盤漸進式冷卻；
            ?能適應5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝；
            ?標配電動泵，標配勻膠顯影管路溫控功能；
            ?可實現兩種尺寸兼容；
            ?可選配高精度熱板、光學對中、WEE等單元部件；
            ?可選配interface模塊,實現Inline功能。          		  
            
            設備尺寸  1680*1550*2500mm（W*D*H）  
                        
                                                        
			        
          
			    
          
                			    
          關鍵詞：功率器件
          
                                                				
          
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