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寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司
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更新時間:2023-11-09 08:05:18瀏覽次數(shù):427次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)設(shè)備配置2C2D、4C、4D設(shè)備產(chǎn)能180WPH襯底材質(zhì)Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0
設(shè)備配置 | 2C2D、4C、4D |
設(shè)備產(chǎn)能 | 180WPH |
襯底材質(zhì) | Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等 |
線寬 | ≥0.35um |
適用工藝 | G-line、i-line、PI |
應(yīng)用領(lǐng)域 | MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、LED、科研等 |
技術(shù)特征 | ?設(shè)備采用高速機械手、產(chǎn)能高,穩(wěn)定性好; ?配置有RRC功能,光刻膠4寸用量可控制在0.6ml; ?設(shè)備故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳椋?/span> ?光刻膠采用精密計量泵供應(yīng),精度高,供液穩(wěn)定,出膠量設(shè)定方便; ?可做兩種尺寸兼容,不需要更換零件; ?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。 |
設(shè)備尺寸 | 1650*1450*2040mm(W*D*H) |
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