1.技術(shù)特征——非常適合工廠(效率高，操作傻瓜型，自動化程度高)和高校教學科研 (可靠性好，演示方便)

       采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和消除 曝光間隙，采用 350W 進口(德國)直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?，自動化程 度很高，操作十分方便。

2．技術(shù)參數(shù)

l  曝光面積：4英寸

l  曝光波長：365nm

l  分辨力：0.8um

l  對準精度：±0. 8um

l  掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

l  掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l  樣片尺寸：直徑f10mm-- f100mm(各種不規(guī)則片)

  厚度0.1mm--5mm(可擴展為15mm)

l  曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

l  具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

l  照明不均勻性： 3%（f100mm 范圍）

l  雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù)400倍，光學+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：10倍、16倍、20倍

l  調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復

l  數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙

l  具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

l  掩模相對于樣片運動行程：

 X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6o

l  焦厚：400mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）

l  光源平行性：3.5 o

l  曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

l  單層曝光一鍵完成

l  采用球氣浮自動找平

l  汞燈功率：350W（直流，進口汞燈）

3．外形尺寸：1200mm（長）′900mm(寬) ′1750mm（高）

4．配置

（1）曝光頭

l  冷光橢球鏡

l  350W進口直流高壓汞燈(進口)

l  XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

l  冷卻風扇

l  光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2

（2）對準工件臺

l  掩模樣片整體運動臺

l  掩模樣片相對運動臺

l  轉(zhuǎn)動臺

l  樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

l  基片抽拉式上下機構(gòu)

l  樣片調(diào)焦機構(gòu)，電機自動調(diào)

l  承片臺4個：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用戶要求增減）

l  掩模夾4個：3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）

（3）對準顯微鏡

l  光源（配備品2只）、 電源

l  雙目雙視場對準顯微鏡主體

l  目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

l  物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

l  CCD對準系統(tǒng)，21寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

l  汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

l  單片機控制系統(tǒng)

l  控制柜桌

（5）氣動系統(tǒng)

l  氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

l  電磁閥驅(qū)動

l  氣動儀表

（6）其他附件

l  真空泵一臺

l  空壓機一臺

l  管道

（7）技術(shù)資料

l  使用維修說明書

l  顯微鏡使用說明書