主要技術參數(shù)：

（1）曝光面積：150mm×150mm；

（2）照明不均勻性： ￡4%（ f150mm范圍）；

（3）分辨力：1.0um（365nm波長）

（4）對準精度：≤±0.8μm；

（5）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、7英寸；

（6）樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm、厚度0.1mm--6mm；

（7）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:±6°；

（8）掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

（9）曝光光源：紫外LED（進口）；

（10）曝光波長：365nm；

（11）曝光強度：≥15mW/cm²；

（12）曝光定時：倒計時方式(0.1s—9999.9s任意設定).

技術構成與配置

設備由曝光頭系統(tǒng)、對準工件臺系統(tǒng)、CCD對準顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)等部分構成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括:

◆ 進口紫外LED光源模塊；

◆ LED光源整形模塊；

◆ XYZ光源位置調節(jié)臺；

◆ 光學系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、場鏡組、反射鏡組）；

◆ 冷卻風扇。

（2）對準工件臺系統(tǒng)包括：

◆ 掩模樣片相對運動臺（XY）；

◆ 轉動臺；

◆ 樣片調平機構，采用三爪加球氣浮自動調平方式；

◆ 樣片調焦機構，采用電機加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；

◆ 承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸各1個）；

◆ 掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸各1個）。

（3）CCD對準顯微鏡系統(tǒng)包括：

◆ 對準光源LED燈；

◆ 雙目雙視場對準顯微鏡主體；

◆ 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）；

◆ 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）；

◆ CCD部件；

◆ 22英寸寬屏液晶顯示器。

（4）電控系統(tǒng)包括：

◆ 單片機控制系統(tǒng)；

◆ 紫外LED電源模塊；

◆ 控制柜桌。

（5）氣動系統(tǒng)包括：

◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關、電磁閥驅動、氣動儀表等 。

(6)．輔助設備配置:

◆ 真空泵1臺（干泵）；

◆ 空氣壓縮機1臺；

◆ 配套接管10m；

(7)．備品備件

◆ 對準光源燈4只（LED-1W，不包括機器自帶的兩只）