1．技術參數(shù)

1）光面積：4英寸

2）曝光波長：365nm

3）分辨力：1.2um（膠厚2 um的正膠）

4）對準精度：±0.8um

5）掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

7）樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm(各種不規(guī)則片) 厚度0.1mm--6mm

8）曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

9）照明不均勻性： 3%（ f100mm  范圍）

10）雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù)400倍，光學+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：4倍、10倍、20倍

11）掩模相對于樣片運動行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6o

12）焦厚：350mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）     

13）光源平行性：3.5 o

14）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

15）汞燈功率：350W（直流，進口）

2．外形尺寸：1200mm（長）′900mm(寬) ′1750mm（高）

3．配置

3.1. 曝光頭

1）冷光橢球鏡

2）350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

3）XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

4）冷卻風扇

5）光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

3.2. 對準工件臺

1）掩模樣片整體運動臺

2）掩模樣片相對運動臺

3）轉(zhuǎn)動臺

4）樣片調(diào)平機構, 手動

5）樣片調(diào)焦機構，手動

6）承片臺3個（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）

7）掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

8）基片抽拉式上下機構

3.3. 對準顯微鏡

1）光源（配備品2只）、   電源

2）雙目雙視場對準顯微鏡主體

3）目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

4）CCD及21英寸液晶顯示器

5）物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

3.4. 電控系統(tǒng)

1）汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

2）單片機控制系統(tǒng)

3）控制箱

3.5. 氣動系統(tǒng)

1）氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

2）電磁閥驅(qū)動

3）氣動儀表 

3.6. 其他附件

1）真空泵一臺

2）空壓機一臺

3）管道

3.7. 技術資料

1）使用維修說明書

2）顯微鏡使用說明書