1．技術(shù)特征

1）非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，全自動(dòng)）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）

2）采用自動(dòng)找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動(dòng)分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，采用350W進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?，自動(dòng)化程度很高，操作十分方便。

2．技術(shù)參數(shù)

1）曝光面積：6英寸

2）曝光波長：365nm

3）分辨力：1-1.2mm（膠厚2 mm的正膠）

4）對準(zhǔn)精度：±0.8mm

5）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

6）掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

7）樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm（各種不規(guī)則片）                 

                  厚度0.1mm--6mm

8）曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

9）具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

10）照明不均勻性： 6%（f150mm 范圍）

11）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：10倍、16倍、20倍

12）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

13）數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

14）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

15）掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6o

16）焦厚：350mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）

17）光源平行性：3.5 o

18）曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面溫度<35 o

19）單層曝光一鍵完成

20）采用球氣浮自動(dòng)找平

21）汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）

3．外形尺寸：1200mm（長）′900mm(寬) ′1750mm（高）

4．配置

4.1. 曝光頭

1）冷光橢球鏡

2）350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

3）XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

4）冷卻風(fēng)扇

5）光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2

4.2. 對準(zhǔn)工件臺

1）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺

2）掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺

3）轉(zhuǎn)動(dòng)臺

4）樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動(dòng)完成

5）樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動(dòng)調(diào)

6）基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

7）承片臺4個(gè)：f15mm 、3英寸、4英寸、6英寸（可按用戶要求增減）

8）掩模夾4個(gè)：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸（可按用戶要求增減）

4.3. 對準(zhǔn)顯微鏡

1）光源（配備品2只）、 電源

2）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

3）目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）

4）物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）

5）CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)，21寸液晶顯示器

4.4. 電控系統(tǒng)

1）汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

2）單片機(jī)控制系統(tǒng)

3）控制柜桌 

4.5. 氣動(dòng)系統(tǒng)

1）氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

2）電磁閥驅(qū)動(dòng)

3）氣動(dòng)儀表 

4.6. 其他附件

1）真空泵一臺

2）空壓機(jī)一臺

3）管道

4.7. 技術(shù)資料

1）使用維修說明書

2）顯微鏡使用說明書