紫外光源功率350W or 500W

曝光光源尺寸:4″，5″，6″ ， 8″

波長: UV(350W時365nm強度約16~20mW/cm2)

均勻度: +-5%電源供應器:定功率控制

快門控制計時器:0.1~999.9秒

光罩真空吸盤: 4”，5” 或 6”下吸式

晶圓真空吸盤: 破片2”，3”，4” 或5”

具光罩與晶圓平行面校正功能，

晶圓真空吸盤可前后左右調整約10mm，調整靈敏度1um

旋轉調整約5度，調整靈敏度0.001度

Z軸可調整約3mm， 調整靈敏度1um

Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距，Z軸可設定對準與曝光兩種間隙，可調整接觸真空吸附力大小

曝光模式有Vacuum contact，Soft contact，Proximity 人工置放晶片與調整晶片位置，取放晶圓時光罩吸盤以手開啟 。

人工置放晶片與調整晶片位置，取放晶圓時光罩吸盤以手開啟。