紫外光源功率 : 350W or 500W 。

曝光光源尺寸 : 4″， 5″ ，6″ ， 8″。

波長 : NUV(350W時365nm強度約16~20mW/cm2) 。

均勻度 : +-5% 。

電源供應(yīng)器 : 定功率控制 。

快門控制計時器 : 0.1~999.9秒。

采用可變倍率鏡頭影像系統(tǒng)，總影像倍率100X-600X， 小型高解析黑白CCD攝影機，

19”LCD熒幕 LED同軸光源打光，影像解析度可達 1um 鏡頭位置調(diào)整，可前后左右上下微調(diào)約 20mm ，

可選擇使用一組或兩組影像系統(tǒng)， 選配快速掃描臺，可快速移動鏡頭，前后左右移動約 10cm 。

光罩真空吸盤 : 4”，5″， 6” 下吸式 。

晶圓真空吸盤 : 破片，2”，3″ ，4″ 或 5” ，具光罩與晶圓平行面校正功能，

晶圓真空吸盤可前后左右調(diào)整約 10mm，調(diào)整靈敏度 1um 旋轉(zhuǎn)調(diào)整約 5度，

調(diào)整靈敏度 0.001度 Z軸可調(diào)整約 3mm， 調(diào)整靈敏度 1um， Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距， Z軸可設(shè)定對準與曝光兩種間隙，

可調(diào)整接觸真空吸附力大小， 曝光模式有 Vacuum contact，Soft contact， Proximity，

人工置放晶片與調(diào)整晶片位置，取放晶圓時光罩吸盤以手開啟。

采全手動撥鈕操作系統(tǒng)以手動控制面板操作。

操作項目包括光罩與晶圓之更換，光罩與晶圓間隙之切換， 光罩與晶圓平行面校正，真空接觸之切換與真空值調(diào)整Z軸的歸零，

鏡頭與曝光源左右交替移至對準臺上方，并有安全互鎖功能。

桌上型大底板機座，具調(diào)整腳。

采真空接觸曝光圖形解析可達 1um， 近接曝光依光罩與晶圓間隙可達 3~5um。