advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢
符合SEMI標準
整機參照SEMI進行設計，符合半導體行業(yè)標準自主研發(fā)
大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發(fā)，穩(wěn)定性高尺寸多樣性
采用行業(yè)標準尺寸，內(nèi)部空間布局合理，結構緊湊性強，可根據(jù)用戶需求定制傳輸效率高
多款大氣手、aligner等部件可供選配，可配置外部軸，大氣手可實現(xiàn)多種取放功能，傳輸效率高標準化程度高
內(nèi)部零部件高度標準化模塊化，互換性高兼容性強
可根據(jù)用戶的實際需求進行非標定制
Application areas
產(chǎn)品應用領域
半導體晶圓傳輸
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
尺寸
2100*750*2500mm
-
重量
≤1100kg
-
潔凈等級
class 1
-
wafer放置位置精度
±0.1mm
-
wafer放置角度精度
±0.2°
-
WPH
≥150
智能制造網(wǎng)