advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢
安全穩(wěn)定可靠
具有性能安全穩(wěn)定可靠，運行平穩(wěn)性好等特點多種優(yōu)勢
具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢性價比
適用于潔凈領(lǐng)域，輕量級設(shè)計使其與產(chǎn)線融于一體，作業(yè)空間利用率高技術(shù)
其控制技術(shù)，動作靈活輕巧快捷，操作持久耐用多種優(yōu)良特性
滿足各類柔性化集成和生產(chǎn)等優(yōu)良特性于一體
Application areas
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體晶圓搬運
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
晶圓尺寸
φ200、φ300mm
-
負(fù)載重量
≤0.5Kg
-
R軸重復(fù)定位精度
±0.05mm
-
θ軸重復(fù)定位精度
±0.006°
-
Z軸重復(fù)定位精度
±0.05mm
-
R軸行程
≤1220mm
-
T軸行程
360°T軸行程
-
Z軸行程
95mm/135mm
-
漏率
＜1×10-9 std.cc/sec He
智能制造網(wǎng)