advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
性能安全穩(wěn)定可靠
運(yùn)行平穩(wěn)性好、高真空度高品質(zhì)
具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢(shì)性價(jià)比
適用于潔凈領(lǐng)域，輕量級(jí)設(shè)計(jì)使其與產(chǎn)線融于一體，作業(yè)空間利用率高高潔凈度
優(yōu)選材料、加工以及表面處理控制技術(shù)
動(dòng)作靈活輕巧快捷，操作持久耐用高優(yōu)良特性
滿足各類柔性化集成和生產(chǎn)等優(yōu)良特性于一體
Application areas
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
晶圓尺寸
φ200mm
-
負(fù)載重量
≤0.5Kg
-
R軸重復(fù)定位精度
±0.05mm
-
θ軸重復(fù)定位精度
±0.006°
-
R軸行程
≤530.5mm
-
T軸行程
360°
-
真空度
＜1×10-7 Torr
-
漏率
＜1×10-9 std.cc/sec He
-
整機(jī)重量
25kg
智能制造網(wǎng)