用于FPD行業(yè)Mask case自動(dòng)化搬送、存儲(chǔ)，與曝光機(jī)對(duì)接。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場(chǎng)設(shè)計(jì)，可使?jié)崈舳冗_(dá)到ISO Class4等級(jí)要求；帶有豐富的安全設(shè)計(jì)和靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)Cassette、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級(jí),減少不必要的損失；高剛度、高可靠性設(shè)計(jì)，保護(hù)貴重Mask；標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口，可以方便對(duì)接面板廠MCS系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)上報(bào)系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)工廠智能管理；可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制設(shè)備功能及尺寸。
參數(shù)：
設(shè)備 | Stocker Crane | |
運(yùn)動(dòng)軸 | 行走 / 提升/ 旋轉(zhuǎn)/ 叉取 | |
有效負(fù)載 | 240kg | |
控制 | PLC | |
電源供應(yīng) | HID (CPS)+ECO | |
電機(jī) | 伺服電機(jī) | |
行走 | 速度 | 66m/min |
提升 | 速度 | 40m/min |
旋轉(zhuǎn) | 速度 | 180°/6s |
叉取 | 上/下料時(shí)間 | 11s |
叉取卡夾精度 | ±2mm | |
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