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上海伯東代理的連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備

參考價(jià)	￥1000000-￥10000000

參考價(jià)

￥1000000-￥10000000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2023/4/26 10:03:08
訪問次數(shù)253

產(chǎn)品標(biāo)簽:

電子束蒸鍍?cè)O(shè)備蒸發(fā)鍍膜電子束蒸發(fā)蒸鍍系統(tǒng)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供進(jìn)口真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國(guó)HVA 真空閥門，美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為真空品牌**代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，* 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

展開顯示更多內(nèi)容

德國(guó) Pfeiffer 真空產(chǎn)品, 美國(guó) inTEST 高低溫測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱, 美國(guó) Polycold 冷凍機(jī),美國(guó) HVA 真空閥門

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

上海伯東代理的連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備可準(zhǔn)確控制其濺鍍制程條件, 為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的薄膜, 廣泛應(yīng)用于納米研究技術(shù), 材料研究, 氧化物, 氮化物和金屬材料的研究, 太陽(yáng)能電池和觸碰螢?zāi)坏刃袠I(yè).

上海伯東代理的連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備產(chǎn)品信息

連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備 In-Line Sputter

連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備 In-Line sputter
上海伯東代理的連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備可準(zhǔn)確控制其濺鍍制程條件, 為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的薄膜, 廣泛應(yīng)用于納米研究技術(shù), 材料研究, 氧化物, 氮化物和金屬材料的研究, 太陽(yáng)能電池和觸碰螢?zāi)坏刃袠I(yè).
連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備
In-Line 的濺鍍沉積是指基板在一個(gè)或多個(gè)濺鍍陰極下方以線性的方式通過以獲取其薄膜沉積. 其基板沿著軌道穿過各個(gè)真空腔內(nèi). 其電漿產(chǎn)生器有許多種類并且每一種都可使用, 例如射頻電源, 直流電源或脈沖直流電源. 還可以容納諸如濺鍍蝕刻, 基板加熱或電漿清洗之類的可選步驟, 并且具有完整的儀器和控制裝置可用于金屬導(dǎo)電薄膜, 電介質(zhì), 光學(xué)薄膜或其他濺鍍應(yīng)用.

連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化基板尺寸為 1100 x 1300 mm2 （玻璃）
薄膜均勻度小于 ±5％
高沉積速率 ≥ 250nm/min 和高效率陰極
濺鍍功率: 射頻5Kw, 直流或脈沖直流 20kW
具有高均勻的氣體分布的流量控制器
穩(wěn)定的溫度控制, 可將基板加熱到 400°C
水平或垂直濺鍍
連續(xù)式多腔磁控濺鍍?cè)O(shè)備

腔體
客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用
具有顯示功能的全量程真空計(jì)和用于壓力控制的 Baratron 真空計(jì)
腔體的極限真空度約為10-7 Torr

選件
基板載臺(tái)回流線
自動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)
OES, RGA 或制程監(jiān)控的額外備用端口

應(yīng)用領(lǐng)域
納米研究技術(shù)
產(chǎn)品質(zhì)量控制和質(zhì)量檢查
材料研究
太陽(yáng)能電池
觸碰屏幕
TFT-LCD
氧化物, 氮化物和金屬材料的研究

若您需要進(jìn)一步的了解上海伯東磁控濺射鍍膜機(jī), 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅先生