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上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備

參考價(jià)	￥1000000-￥10000000

參考價(jià)

￥1000000-￥10000000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2023/4/26 9:56:24
訪問次數(shù)255

產(chǎn)品標(biāo)簽:

電子束蒸鍍?cè)O(shè)備蒸發(fā)鍍膜電子束蒸發(fā)蒸鍍系統(tǒng)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供進(jìn)口真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國(guó)HVA 真空閥門，美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為真空品牌**代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，* 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

展開顯示更多內(nèi)容

德國(guó) Pfeiffer 真空產(chǎn)品, 美國(guó) inTEST 高低溫測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱, 美國(guó) Polycold 冷凍機(jī),美國(guó) HVA 真空閥門

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備可以準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.

上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備產(chǎn)品信息

剝離成形電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 Lift-Off E-beam Evaporation System
對(duì)于有些金屬, 我們很難使用蝕刻 Etching 方式來(lái)完成想要的電路圖案 Circuit Pattern時(shí), 就可以采用 Lift-Off 制程來(lái)做出想要的金屬圖案. 在此過程中, 電子束蒸發(fā)于在基板表面上沉積所需的薄膜層于犧牲層與基材上, 最終在洗去犧牲層, 以得到其電路圖案.

上海伯東代理剝離成形電子束設(shè)備可以準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.
剝離成形電子束設(shè)備 Lift-Off E-beam
針對(duì) Lift-Off 制程設(shè)計(jì)載臺(tái)水冷或液態(tài)氮冷卻

Lift-Off 制程步驟:

1. 準(zhǔn)備基板
2. 犧牲薄膜層的沉積
3. 對(duì)犧牲層進(jìn)行圖案化 (例如蝕刻), 以形成反向圖案
4. 沉積目標(biāo)材料
5. 洗去犧牲層以及目標(biāo)材料的表面
6. 最終圖案層：
①基材
②犧牲層
③目標(biāo)材料

Kri 離子源

Lift-Off 制程步驟:

上海伯東剝離成形電子束設(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓
薄膜均勻度小于±3％
水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝)
自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)
具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源
基板具有冷卻 (液態(tài)氮溫度低至-70°C)功能

腔體
客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用
腔體可至 650 mm
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

選件
可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起

應(yīng)用領(lǐng)域
Lift-Off 制程

對(duì)傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來(lái)實(shí)現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實(shí)現(xiàn)超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來(lái), 甚至是高熔點(diǎn)的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實(shí)現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計(jì), 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.

若您需要進(jìn)一步的了解電子束蒸鍍?cè)O(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅先生