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進(jìn)口電子束蒸鍍?cè)O(shè)備,e-beam 蒸發(fā)系統(tǒng)

參考價(jià)	￥ 2000000
訂貨量	≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2023/4/17 17:15:14
訪問(wèn)次數(shù)1652

產(chǎn)品標(biāo)簽:

進(jìn)口電子束蒸鍍?cè)O(shè)備電子束蒸發(fā)系統(tǒng)蒸發(fā)鍍膜機(jī)e-beam 真空鍍膜機(jī)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

~伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供*的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

上海伯東代理品牌包含：德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國(guó)HVA 真空閥門，美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為真空品牌**代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，* 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

原子力顯微鏡,高低溫沖擊試驗(yàn)箱，振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì),霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng),冷凍機(jī)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

上海伯東代理 SYSKEY 中國(guó)臺(tái)灣矽碁科技電子束蒸鍍?cè)O(shè)備是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng), 蒸鍍系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來(lái)達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu). 在基板乘載上針對(duì)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì), 單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率, 薄膜厚度和均勻度小于 +/- 3％.進(jìn)口電子束蒸鍍?cè)O(shè)備,e-beam 蒸發(fā)系統(tǒng)

進(jìn)口電子束蒸鍍?cè)O(shè)備,e-beam 蒸發(fā)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)

電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 E-beam Evaporation System
電子束蒸發(fā)與熱蒸發(fā)對(duì)比, 能夠在非常高的溫度下熔化材料, 如鎢, 石墨 ... 等等. 結(jié)合石英震蕩片的反饋信號(hào), 可輕松控制蒸發(fā)速率, 以調(diào)節(jié)電子束電流并蒸發(fā)更多材料而不會(huì)破壞真空. 因此, 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)用于薄膜制程領(lǐng)域, 包括半導(dǎo)體, 光學(xué), 太陽(yáng)能電池板, 玻璃和建筑玻璃, 因此它們具有所需的導(dǎo)電, 反射, 透射和電子等特性.

上海伯東代理 SYSKEY 中國(guó)臺(tái)灣矽碁科技電子束蒸鍍?cè)O(shè)備是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng), 蒸鍍系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來(lái)達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu). 在基板乘載上針對(duì)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì), 單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率, 薄膜厚度和均勻度小于 +/- 3％. 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr. 為了獲得盡可能大的制程靈活性, 可以結(jié)合美國(guó) KRi 離子源進(jìn)行離子輔助沉積或者預(yù)清潔等功能.
SYSKEY 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
上海伯東電子束蒸鍍?cè)O(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓
單載片或多載片 (2” x 32個(gè)，4” x 16個(gè)，6” x 6個(gè)，8” x 4個(gè)）
薄膜均勻度小于 ±3％
具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝）
自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)
具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源
基板具有冷卻 (液態(tài)氮溫度低至-70°C) 或加熱 (溫度800°C) 等功能

電子束蒸鍍?cè)O(shè)備基本參數(shù)

系統(tǒng)	Real 超高真空	超高真空	高真空
極限真空	5X10-10 Torr	5X10-9 Torr	3X10-7 Torr
腔室密封	全部 CF	一些密封圈	全部密封圈
Load-lock	標(biāo)準(zhǔn)	標(biāo)準(zhǔn)	可選
E-beam 源	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc
基板	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻
真空泵	低溫泵	低溫泵 / 分子泵	低溫泵 / 分子泵
監(jiān)控	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM
工藝控制	速率控制	速率控制	速率控制
供氣	氮?dú)?/p>	氮?dú)?/p>	氮?dú)?/p>

SYSKEY 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) E-Beam

腔體
由 304不銹鋼所制成, 通過(guò)外部焊接 304不銹鋼管線對(duì)腔體進(jìn)行水冷
寬大的前開(kāi)式門, 并有兩個(gè)窗口和窗口遮版用于觀察基材和電子束源
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

選件
可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起
結(jié)合美國(guó) KRi 離子源, 濺鍍槍, 熱蒸發(fā)源, 等離子清潔...

應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)材料研究 (LED / Laser Diode)
光電元件
半導(dǎo)體元件

對(duì)傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來(lái)實(shí)現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實(shí)現(xiàn)超過(guò) 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來(lái), 甚至是高熔點(diǎn)的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實(shí)現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計(jì), 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.

若您需要進(jìn)一步的了解電子束蒸鍍?cè)O(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士

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