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EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO₂ 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
- 安靜的無振動運行。
- 牢靠且防腐蝕。
- *的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到zui低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要zui高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

技術(shù)數(shù)據(jù)

型號	EH250	EH500	EH1200	EH2600	EH4200
排量（工作容積）	310 m³h^-1 / 185 ft³min^-1	505 m³h^-1 / 300 ft³min^-1	1195 m³h^-1 / 715 ft³min^-1	2590 m³h^-1 / 1525 ft³min^-1	4140 m³h^-1 / 2440 ft³min^-1
使用前級泵時的有效抽速	240 m³h^-1 / 141 ft³min^-1	350 m³h^-1 / 206 ft³min^-1	840 m³h^-1 / 495 ft³min^-1	1750 m³h^-1 / 1031 ft³min^-1	3100 m³h^-1 / 1825 ft³min^-1
泵的壓力差	0-180 mbar/0-140 Torr	0-110 mbar/0-83 Torr	0-90 mbar/0-68 Torr	0-80 mbar/0-60 Torr	0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接	ISO63	ISO100	ISO160	ISO160	ISO250
出口連接	ISO40	ISO63	ISO100	ISO100	ISO100
轉(zhuǎn)速	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm
連續(xù)進氣口工作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口壓力	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr
*的前級泵	GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80	GV80，E2M80	GV160、GV250、 E2M80、E2M175	GV250、GV400、 E2M175、E2M275	GV400、E2M275
電機功率
碳氫化合物	2.2 kW / 3 hp	2.2 kW/3 hp	3 kW/4 hp	11 kW/15 hp	11 kW/15 hp
PFPE	1.5 kW / 2 hp	1.5 kW/2 hp	3 kW/4 hp	7.5 kW/10 hp	11 kW/15 hp
ATEX	2.2 kW	2.2 kW	3 kW	11 kW	11 kW
防爆	3 hp	3 hp	4 hp	15 hp	15 hp
環(huán)境溫度范圍
工作	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F
存儲	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F
zui大工作濕度	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH
*用油	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20
油容量
齒輪箱			1.25 l/1.3 qt	3.5 l/3.3 qt	3.5 l/3.3 qt
聯(lián)軸器蓋	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	6.5 l/7 qt	6.5 l/7 qt
軸封儲油器	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	1.5 l/1.4 qt	1.5 l/1.4 qt
重量	61 kg/134 lb	74 kg/163 lb	74 kg/163 lb	308 kg/679 lb	400 kg / 882 lb