EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
• 半導(dǎo)體制程
• 真空蒸餾
• 真空包裝
• 鋼脫氣
• 薄膜覆層
• 真空冶金
• 低密度風(fēng)洞
• 空間模擬
• 真空浸漬
• 油干燥和脫氣
• 制藥冷凍干燥
• CO2 激光
功能和優(yōu)勢
• 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
• 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
• EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
o 安靜的無振動運(yùn)行。
o 牢靠且防腐蝕。
o *的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
• 防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
• 經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到zui低。
• 軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要zui高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
• 動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
　型號 EH250 EH500 EH1200 EH2600 EH4200
排量（工作容積） 310 m3h-1 / 185 ft3min-1 505 m3h-1 / 300 ft3min-1 1195 m3h-1 / 715 ft3min-1 2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1 4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前級泵時(shí)的有效抽速 240 m3h-1 / 141 ft3min-1 350 m3h-1 / 206 ft3min-1 840 m3h-1 / 495 ft3min-1 1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1 3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的壓力差 0-180 mbar/0-140 Torr 0-110 mbar/0-83 Torr 0-90 mbar/0-68 Torr 0-80 mbar/0-60 Torr 0-60 mbar / 0-45 Torr
進(jìn)氣口連接 ISO63 ISO100 ISO160 ISO160 ISO250
出口連接 ISO40 ISO63 ISO100 ISO100 ISO100
轉(zhuǎn)速 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口壓力 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr
*的前級泵 GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 GV80，E2M80 GV160、GV250、
E2M80、E2M175 GV250、GV400、
E2M175、E2M275 GV400、E2M275
電機(jī)功率 　 　 　 　 　
碳?xì)浠衔?nbsp;2.2 kW / 3 hp 2.2 kW/3 hp 3 kW/4 hp 11 kW/15 hp 11 kW/15 hp
PFPE 1.5 kW / 2 hp 1.5 kW/2 hp 3 kW/4 hp 7.5 kW/10 hp 11 kW/15 hp
ATEX 2.2 kW 2.2 kW 3 kW 11 kW 11 kW
防爆 3 hp 3 hp 4 hp 15 hp 15 hp
環(huán)境溫度范圍 　 　 　 　 　
工作 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F
zui大工作濕度 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH
*用油 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20
油容量 　 　 　 　 　
齒輪箱 　 　 1.25 l/1.3 qt 3.5 l/3.3 qt 3.5 l/3.3 qt
聯(lián)軸器蓋 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 6.5 l/7 qt 6.5 l/7 qt
軸封儲油器 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 1.5 l/1.4 qt 1.5 l/1.4 qt
重量 61 kg/134 lb 74 kg/163 lb 74 kg/163 lb 308 kg/679 lb 400 kg / 882 lb