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陜西愛姆加電子設備有限公司
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| 價格 | 面儀 |
|---|
一、主要技術規(guī)格：
1. 適應2〞~8〞晶圓烘烤
2. 熱板溫度： 60℃-300℃（溫度為150℃以上請勿合蓋）
3. 溫度均勻性： ±1℃（Φ200mm以內區(qū)域）
4. 手動開關爐蓋及放取硅片
5. 電子定時： 1分鐘-99小時99分鐘，功率1000W
6. 烘烤方式:接觸式烘烤晶片及多工位接近式烘烤
二、主要結構和工作原理
該熱板爐主要由熱板、管式加熱器、溫控儀、J 型熱電
一、主要技術規(guī)格：
1. 適應2〞~8〞晶圓烘烤
2. 熱板溫度： 60℃-300℃（溫度為150℃以上請勿合蓋）
3. 溫度均勻性： ±1℃（Φ200mm以內區(qū)域）
4. 手動開關爐蓋及放取硅片
5. 電子定時： 1分鐘-99小時99分鐘，功率1000W
6. 烘烤方式:接觸式烘烤晶片及多工位接近式烘烤
二、主要結構和工作原理
該熱板爐主要由熱板、管式加熱器、溫控儀、J 型熱電偶、固態(tài)繼電器、時間繼電器等組成，
本系統(tǒng)是一種閉環(huán)自動反饋控制系統(tǒng)，通過PID調節(jié)，求得系統(tǒng)溫度控制精度。
三、安裝
1.本系統(tǒng)應安放在水平臺面上，將機箱外的電源插座內
2.外形尺寸：（L×W×H）280mm×300mm×400mm
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