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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          安徽智微科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          URE-2000/35型紫外光刻機(jī)
          
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          所  在  地合肥市
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
          聯(lián)系方式：江先生查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時間：2022-08-01 16:24:59瀏覽次數(shù)：233次
							
          
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          經(jīng)營模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：43條
          
						
          所在地區(qū)：安徽合肥市
          
						
          聯(lián)系人：江先生
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)：曝光面積：100mm×100mm分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）對準(zhǔn)精度：±0.8μm膠厚：300μm（SU8膠）掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
          微信截圖_20200116173236.png
          產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機(jī)


          主要技術(shù)指標(biāo)：

          曝光面積：100mm×100mm
          分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
          對準(zhǔn)精度：±0.8μm
          膠厚：300μm（SU8膠）
          掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
          樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
          照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）
          汞燈功率：350W（直流）
          掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
          技術(shù)特點(diǎn)：
          創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點(diǎn)。
          
			        
          
			    
          
                			    
          關(guān)鍵詞：顯微鏡
          
                                                				
          
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