DS-2000/14G型光刻機

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地合肥市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：江先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-08-01 16:02:34瀏覽次數(shù)：551次

聯(lián)系我時，請告知來自智能制造網(wǎng)

暫無信息

安徽智微科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：43條

所在地區(qū)：安徽合肥市

聯(lián)系人：江先生

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機主要技術(shù)指標：單次曝光面積：1.4mm×1mm曝光基片：100mm×100mm對準精度：±0.8μm（半自動對準）膠厚：300μm（SU8膠）自動逐場對焦

詳細介紹

微信截圖_20200116173859.png

產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機
主要技術(shù)指標：
單次曝光面積：1.4mm×1mm
曝光基片：100mm ×100mm
對準精度：±0.8μm（半自動對準）
膠厚：300μm（SU8膠）
自動逐場對焦；
分辨力：1μm；
X、Y、Z、θ四自由度電動位移臺
X、Y平移重復定位精度：0.65μm（3σ）
Z向運動精度：1μm
技術(shù)特點：
該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(tǒng)（可同時使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設(shè)定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。