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陜西愛姆加電子設(shè)備有限公司
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更新時間：2023-12-29 11:46:04瀏覽次數(shù)：206次
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線性布局，自動傳片，自動完成去膠工藝。
晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。
腔體共有三層，每層都有單獨的藥液排放 循環(huán)功能。
清洗多種金屬顆粒和有機物殘留。
藥液在循環(huán)中，根據(jù)顆粒大小配備相應(yīng)過濾系統(tǒng)。
藥液恒溫，或在線加熱供給功能。
主要特點：
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晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。
腔體共有三層，每層都有單獨的藥液排放 循環(huán)功能。
清洗多種金屬顆粒和有機物殘留。
藥液在循環(huán)中，根據(jù)顆粒大小配備相應(yīng)過濾系統(tǒng)。
藥液恒溫，或在線加熱供給功能。
一、適應(yīng)的藥液有以下幾種：
NMP液體--高溫高壓
DMSO液體--高溫高壓
IPA液體
DI-water
二、功能選擇：
片盒到片盒
進口機械手
CHAMBER采用耐酸堿材質(zhì)
分層藥液排放，省液，提供了生產(chǎn)率
自動供液、補液
主要特點：
線性布局，自動傳片，自動完成去膠工藝。
晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。
腔體共有三層，每層都有單獨的藥液排放 循環(huán)功能。
清洗多種金屬顆粒和有機物殘留。
藥液在循環(huán)中，根據(jù)顆粒大小配備相應(yīng)過濾系統(tǒng)。
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NMP液體--高溫高壓
DMSO液體--高溫高壓
IPA液體
DI-water
片盒到片盒
進口機械手
CHAMBER采用耐酸堿材質(zhì)
分層藥液排放，省液，提供了生產(chǎn)率
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