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雙軌自動(dòng)涂源機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹：1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強(qiáng)，操作簡(jiǎn)單，易于維護(hù)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強(qiáng)，操作簡(jiǎn)單，易于維護(hù)。

2）傳片方式通過(guò)導(dǎo)軌絲桿傳動(dòng)。

3）主軸使用伺服電機(jī)，RS485通訊精確控制轉(zhuǎn)速。

4）采用蠕動(dòng)泵滴源，保證了定量滴乳膠源，可節(jié)省擴(kuò)散源用量。

5）設(shè)置靈活，多功能。通過(guò)一鍵設(shè)置，可將自動(dòng)涂源轉(zhuǎn)換為手動(dòng)涂源。

7）熱板控溫方式為溫控表，自帶超溫保護(hù)系統(tǒng)，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便晶圓烘烤。

轉(zhuǎn)速 5000RPM

轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)度 ≤1-4%RPM

涂源滴膠手臂控制步進(jìn)馬達(dá)

滴膠頭位置精準(zhǔn) ≤0.2mm

該設(shè)備為全自動(dòng)上下料涂源設(shè)備，主要應(yīng)用于3-6寸晶圓涂源、烘干，采用標(biāo)準(zhǔn)片盒收放片，自動(dòng)運(yùn)行。該設(shè)備為雙軌道形式，上料、涂源、烘干、取料。

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 觸摸屏伺服電機(jī) 溫控表步進(jìn)馬達(dá)

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