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          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          首昂光電（上海）有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：首昂光電（上海）有限公司>>行業(yè)專用設(shè)備>>臥式甩干機(jī)SA-SV702-D
            
          
			
          
				
          
					
          臥式甩干機(jī)SA-SV702-D
          
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          聯(lián)系方式：李經(jīng)理查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時(shí)間：2023-10-01 08:43:44瀏覽次數(shù)：151次
							
          
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          經(jīng)營(yíng)模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：29條
          
						
          所在地區(qū)：上海上海市
          
						
          聯(lián)系人：李經(jīng)理
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          臥式甩干機(jī)SA-SV702-D為本公司針對(duì)4~6"制程之需求，可控制0.3微塵顆粒70顆，其功能主要有清洗，高速脫水，低速烘干
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                 
                                   
                                       
          臥式甩干機(jī)SA-SV702-D
          為本公司針對(duì)4~6"制程之需求，可控制0.3微塵顆粒70顆，其功能主要有清洗，高速脫水，低速烘干。

                                  
                                   
                                       
          技術(shù)參數(shù)：
          1、設(shè)備用于4~6英寸硅片甩干工藝。
          2、每批處理晶圓數(shù)量為50片,25片/腔體。
          3、甩干機(jī)為上下雙工藝腔體設(shè)計(jì)，腔室內(nèi)部為不銹鋼，特殊工藝可依據(jù)客戶要求鍍特氟龍防腐鍍層。
          4、轉(zhuǎn)子的動(dòng)平衡為片盒中的硅片從0～25片。
          5、建議轉(zhuǎn)速1800-2000轉(zhuǎn)/min。 
          6、顆粒度增加值<70 (0.3 um) ； 甩干后表面無(wú)水漬、無(wú)污染物。
                                  
                                   
                                       
          用于4寸～6寸晶片的清洗甩干，能根據(jù)客戶定制各種規(guī)格。
                                  
                               
                           
			        
          
			    
          
                                                				
          
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