AWM40000系列氣體質(zhì)量流量傳感器包括不帶放大和放大信號(hào)處理的信號(hào)。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000氣體質(zhì)量流量傳感器相同的電路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000氣體質(zhì)量流量傳感器相同的電路。AWM43600V氣體質(zhì)量流量傳感器為6SLPM 器件。
圖1 WM43300V氣體質(zhì)量流量傳感器發(fā)熱控制電路
AWM40000系列氣體質(zhì)量流量傳感器選型指南:
| | AWM42150VH | AWM42300V | AWM43300V | AWM43600V | | |
| 流量范圍（滿量程） | ±25sccm | ±1000sccm | +1000sccm | +6LPM | | |
| 輸出電壓@ 標(biāo)定點(diǎn) | 8.5±1.5mV @25sccm | 54.7±3.7mVDC @1000sccm | 5±0.15VDC @1000sccm | 5±0.15VDC @6LPM | | |
| 零點(diǎn)電壓 | 0.0±1.0 mV DC | 0.0±1.0 mV DC | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.05VDC | | |
| 零點(diǎn)漂移+25~-25?C +25~85?C | ±0.20mV DC | ±0.20mV DC | ±0.025VDC | ±0.025VDC | | |
| 輸出電壓漂移+25~-25?C +25~+85?C | +2.5% 讀數(shù)（典型值） -2.5% 讀數(shù)（典型值） | ±2.5% 讀數(shù)（zui大值） +6% 讀數(shù)（zui大值） | -5% 讀數(shù)（zui大值） +6%讀數(shù)（zui大值） | -5% 讀數(shù)（zui大值） +6% 讀數(shù)（zui大值） | | |
| 重復(fù)性& 遲滯 | ±0.35% 讀數(shù) | ±1.00% 讀數(shù) | ±0.5% 讀數(shù) | ±1.00% 讀數(shù) | | |
| 壓降@ 滿量程（in H2O） | | 1.50（典型值） | 1.02（典型值） | 8.00（典型值） | | |
| | Min Typ. Max. | | ||||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 15 （2） | | ||||
| 功耗（mW） | 50 60 | | ||||
| 反應(yīng)時(shí)間（ms） | 1.0 3.0 （1） | | ||||
| 共模壓力（psi） | 150 | | ||||
| 輸出負(fù)載 | NPN（電流沉）:10mA PNP（電流源）：20mA | | ||||
| 標(biāo)定氣體 | 氮?dú)猓ˋWM42150VH 為氫氣） | | ||||
| 比率變化量 | ±0.3% 讀數(shù) | | ||||
| 工作溫度 | -25~85C | | ||||
| 儲(chǔ)存溫度（?C） | -40~90C | | ||||
| 沖擊 | 100g峰值（5drops,6axis） | | ||||
注：1、從10%~90% 反應(yīng)時(shí)間一般1 毫秒
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、重復(fù)性和遲滯反應(yīng)了測(cè)量設(shè)備的內(nèi)在精度
4、zui大的防止損壞的流量變化量：5LPM/1.0sec
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、重復(fù)性和遲滯反應(yīng)了測(cè)量設(shè)備的內(nèi)在精度
4、zui大的防止損壞的流量變化量：5LPM/1.0sec
WM43300V氣體質(zhì)量流量傳感器安裝尺寸（僅供參考）:
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