AWM5000系列氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)規(guī)格：
| | AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
| 流量范圍 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
| 后綴-標(biāo)定氣體 | VA-氬氣（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮?dú)猓∟2） | |||
| | Min Typ Max | |||
| *供電電源VDC | 8.0 10±0.01 15 | |||
| 功耗（mW） | 100 | |||
| 反應(yīng)時(shí)間（mA） | 60 | |||
| 零點(diǎn)輸出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
| 零點(diǎn)漂移，VDC -20~70?C | ±0.050 ±0.200 | |||
| zui大共模壓力psi | 50 | |||
| 溫度范圍 | -20~+70?C | |||
| 沖擊指標(biāo) | 100g峰值，6ms 半正弦（3drops,3 的每一方向） | |||
| 輸出@ 較整點(diǎn) | 5VDC@ 滿(mǎn)量程流量 | |||
| 壓差@ 滿(mǎn)量程 | 參照壓力& 氣流表 | |||
| 滿(mǎn)量程輸出漂移+20?~-25?C +20?~70?C | 后綴VA 或VN ±7.0% 讀數(shù)，VC ±10.0% 讀數(shù) | |||
| 線(xiàn)性誤差 | ±3.0% 讀數(shù) | |||
| 遲滯& 重復(fù)性 | ±0.5% 讀數(shù) | |||
| 連接器（4pin receptacle） | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄漏 max | 0.1psi/min,在靜態(tài)中 | |||
注：1、AWM5102/AWM5104氣體質(zhì)量流量傳感器供電電壓除10.00±0.01VDC 外，不保證標(biāo)定值。
2、AWM5102/AWM5104線(xiàn)性誤差適用于2-* 滿(mǎn)量程，但不適用0 LPM 時(shí)零輸出
3、在50psi 內(nèi)壓下，AWM5102每分鐘泄漏小于0.1psi，如果安裝時(shí)，相對(duì)于流量管的連接器被扭轉(zhuǎn)，將會(huì)破壞O 形圈和流量管之間的密封，引起暫時(shí)匯漏，可高達(dá)1psi，也可能在指標(biāo)內(nèi)，換上新O 形圈后，密封恢復(fù)，大約85% 的泄漏在24 小時(shí)內(nèi)消除，48 小時(shí)內(nèi)，可*恢復(fù)。
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