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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司


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          Cchip-0019高深寬比紫外光刻機(jī)

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          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地蘇州市

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          更新時間:2023-08-11 16:10:23瀏覽次數(shù):281次

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          產(chǎn)品簡介

          微流控芯片的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點(diǎn),中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機(jī)。該設(shè)備采用目前的LED光源,紫外波長365nm,光源純度高,輻射能量均一可調(diào)...

          詳細(xì)介紹

          1. 產(chǎn)品簡介:

          微流控芯片的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一般深寬比較大,針對微流控芯片這一特點(diǎn),中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機(jī)。該設(shè)備采用目前*的LED光源,紫外波長365nm光源純度高,輻射能量均一可調(diào)。設(shè)備配有智能化觸摸屏操作面板,外觀比較傳統(tǒng)光刻機(jī)體積更小,集成化度高,不僅簡化操作流程,還進(jìn)一步提高工藝效率。

          不僅如此,我們對曝光系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化,將曝光過程中衍射誤差降到極限保證圖案設(shè)計(jì)值與實(shí)際值一致,從而為芯片制作保駕護(hù)航。

          以下是客戶實(shí)測圖片,結(jié)構(gòu)高度92um,間距20um,請參考!

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