1.技術特征——非常適合工廠(效率高，操作傻瓜型，自動化程度高)和高校教學科研 (可靠性好，演示方便)
采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和消除 曝光間隙，采用 350W 進口(德國)直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設備外形美觀精制，性能非?？煽浚詣踊?/span> 度很高，操作十分方便。
2．技術參數(shù)
l 曝光面積：4英寸
l 曝光波長：365nm
l 分辨力：0.8um
l 對準精度：±0. 8um
l 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸：直徑f10mm-- f100mm(各種不規(guī)則片)
厚度0.1mm--5mm(可擴展為15mm)
l 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
l 照明不均勻性： 3%（f100mm 范圍）
l 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù)400倍，光學+電子放大800倍
物鏡三對：4倍、10倍、20倍
目鏡三對：10倍、16倍、20倍
l 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復
l 數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙
l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
l 掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o
l 焦厚：400mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
l 光源平行性：3.5 o
l 曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o
l 單層曝光一鍵完成
l 采用球氣浮自動找平
l 汞燈功率：350W（直流，進口汞燈）
3．外形尺寸：1200mm（長）′900mm(寬) ′1750mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
l 冷光橢球鏡
l 350W進口直流高壓汞燈(進口)
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
l 冷卻風扇
l 光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2
（2）對準工件臺
l 掩模樣片整體運動臺
l 掩模樣片相對運動臺
l 轉(zhuǎn)動臺
l 樣片調(diào)平機構,自動完成
l 基片抽拉式上下機構
l 樣片調(diào)焦機構，電機自動調(diào)
l 承片臺4個：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用戶要求增減）
l 掩模夾4個：3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）
（3）對準顯微鏡
l 光源（配備品2只）、 電源
l 雙目雙視場對準顯微鏡主體
l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
l CCD對準系統(tǒng)，21寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
l 單片機控制系統(tǒng)
l 控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
l 電磁閥驅(qū)動
l 氣動儀表
（6）其他附件
l 真空泵一臺
l 空壓機一臺
l 管道
（7）技術資料
l 使用維修說明書
l 顯微鏡使用說明書
