PLC 工控機(jī) 嵌入式系統(tǒng) 人機(jī)界面 工業(yè)以太網(wǎng) 現(xiàn)場(chǎng)總線 變頻器 機(jī)器視覺(jué) DCS PAC/PLMC SCADA 工業(yè)軟件 ICS信息安全 應(yīng)用方案 無(wú)線通訊
東莞市晟鼎精密儀器有限公司
會(huì)員1.png)
東莞市晟鼎精密儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地東莞市
聯(lián)系方式：銷售部查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-03-18 18:03:49瀏覽次數(shù)：192次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)暫無(wú)信息 |
SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機(jī)是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的MWPLASMA處理及性能檢測(cè)整體解決方案的設(shè)備，是實(shí)現(xiàn)清潔、活化、除膠、刻蝕功效的理想選擇
微波等離子清洗是用等離子體通過(guò)化學(xué)或物理作用對(duì)工件表面進(jìn)行分子水平處理，去除沾污，改善表面性能的工藝過(guò)程。對(duì)應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝。當(dāng)腔內(nèi)壓力為動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場(chǎng)將氬氣、氧氣、 氮?dú)?、氫氣等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對(duì)被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)氧化還原反應(yīng)。
微波等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大組成部分：控制系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、金屬空心導(dǎo)管。
半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
芯片粘接前處理：去除材料表面污染物，增加表面潤(rùn)濕性能，提升膠體流動(dòng)性，保證與其他材料的結(jié)合能?。
塑封前處理：去除材料表面污染物，使芯片表面與塑封材料結(jié)合牢固，減少分層與氣泡等不良的產(chǎn)?。
金屬鍵合前處理：去除金屬焊盤上的有機(jī)污染物，提高焊接工藝的強(qiáng)度和可靠性。
光刻膠去除：去除殘留的光刻膠及其他有機(jī)物，活化和粗化晶圓表?，提?晶圓表?潤(rùn)濕性能。
| 設(shè)備尺寸 | 2308*1360*2064mm（長(zhǎng)*寬*高） |
| 微波電源 | 雙微波電源2000W |
| 容積 | 約24L |
| 清洗產(chǎn)品范圍 | 80-280mm*25-90mm（長(zhǎng)*寬） |
| 料盒尺寸范圍 | 180-290mm*28-93mm*200mm（長(zhǎng)*寬*高） |
| 真空泵 | 干泵 |
| 氣路配置 | 標(biāo)配氧氣、氬氣兩路工藝氣體（可定制CF4氣體） |
| 系統(tǒng)控制 | 工控系統(tǒng) |
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
智能制造網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
