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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          東莞市晟鼎精密儀器有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：東莞市晟鼎精密儀器有限公司>>微波等離子清洗機(jī)>>ICP干法等離子去膠機(jī)ST-3100
            
          
			
          
				
          
					
          ICP干法等離子去膠機(jī)ST-3100
          
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          參  考  價(jià)面議  
          
					                    
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號(hào)
          
							
          品       牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)其他
          
		                    							
          所  在  地東莞市
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
          聯(lián)系方式：銷售部查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時(shí)間：2024-03-18 17:56:46瀏覽次數(shù)：118次
							
          
							聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)
						
          
				
          
				
			
          
            
						
          
			
          
						
          
				
				
          
					
					
          
						
          
                                                        
                                                    
          
						
          經(jīng)營(yíng)模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：48條
          
						
          所在地區(qū)：廣東東莞市
          
						
          聯(lián)系人：銷售部
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計(jì)，采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)均勻的流暢分布，去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                 
                                   
                                         
                               
                               
                                   
           ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計(jì)，采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)均勻的流暢分布，去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異。 
           
           應(yīng)用范圍  
           
           離子注入后光阻去除 
           
           表面殘留物清除 
           
           刻蝕后表面清潔 
           
           聚合物去除 
           
           BAW/SAW工藝中的光阻去除 
           
           
           
                                                                                                                  
                                       
          產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
                                       
                                           暫無數(shù)據(jù)                             
                                   
                                   
                                       
          應(yīng)用案例
                                       
                                           
                                                                                                                                     
                                                                                                                
                                                               
                                                                   微波等離子在半導(dǎo)體去膠的應(yīng)用                                                                                                              
                                                                                                            
                                                                                                                         
                                       
                                   
                                   
                                       
          產(chǎn)品推薦
                                       
                                           
                                                                                                                                     
                                                                                                                
                                                                                                                        
                                                               
                                                                    
          SPE-201P等離子去膠機(jī)
                                                                   
          自由基分子的等離子體無偏壓，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率快
                                                               
                                                                                                        
                                                                                                                                                                              
                                                                                                                
                                                                                                                        
                                                               
                                                                    
          RIE Plasma等離子去膠機(jī)
                                                                   
          可有效去除表面殘留物、介質(zhì)與介質(zhì)間光阻去除
                                                               
                                                                                                        
                                                                                                                                                                              
                                                                                                                
                                                                                                                        
                                                               
                                                                    
          實(shí)驗(yàn)型微波等離子去膠機(jī)
                                                                   
          可做到聚合物去除、氧化硅或碳化硅刻蝕、刻蝕后表面清潔
                                                               
                                                                                                        
                                                                                                                         
                                       
                                   
                               
                               
                                   
                                       
                                           
           
           設(shè)備整體參數(shù)  
           
            
            型號(hào)     ST3100      ST3200   
           
            PLASMA電源    RF          RF    
           
            尺寸（L*W*H）    1300*1190*1847mm   1300*1650*1850mm   
           
            適用范圍    4-8寸       4-8寸   
           
            單次處理片數(shù)    1           2   
                      
           
           
           
           
           
           
                                       
                                                        
                               
                               
                                   
                                       
                                           
                                               
                                                   
          配件類型
                                                   
                                                                                                  
                                               
                                                                                
                                           
                                               
                                                                                        
                                           
                                       
                                   
                               
                           
			        
          
			    
          
                                                				
          
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