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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          上海良允科學(xué)儀器有限公司


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          主動(dòng)隔振系統(tǒng)(電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用)

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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào)αL4X-911R1

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

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          更新時(shí)間:2022-11-06 10:40:49瀏覽次數(shù):327次

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          產(chǎn)品簡(jiǎn)介

          日本特許機(jī)器株式會(huì)社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求

          詳細(xì)介紹

          日本特許機(jī)器株式會(huì)社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。

          αL4X-911R1主動(dòng)式隔振平臺(tái)是結(jié)合了空壓(低頻)和線性馬達(dá)(高頻)的兩種優(yōu)點(diǎn),專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的高精密隔振平臺(tái)。

          本主動(dòng)隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng),在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。


          αL4X-911R1的基本原理和功能

          利用加速度傳感器檢測(cè)地板的振動(dòng),通過(guò)6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動(dòng)控制,由氣動(dòng)和線性馬達(dá)執(zhí)行器來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)衰減,消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng),滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動(dòng)值。

          技術(shù)參數(shù):

          名稱

          技術(shù)參數(shù)和指標(biāo)

          主動(dòng)隔振平臺(tái)

          標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸:902×1102×152(浮起時(shí)155)mm

          其他尺寸可定制

          主動(dòng)隔振單元

          內(nèi)含加速度傳感器,位移傳感器及空氣伺服閥。

          隔振范圍

          0.5Hz~100Hz

          隔振效果(值)

          0.5Hz~1Hz:≤-20dB

          1Hz~10Hz:-20dB ≤-40dB

          10Hz以上:≥ -40dB

          加速度傳感器

          頻率范圍:DC-400Hz

          最小分辨率:≤1*10-6m/sec2

          耐沖擊參數(shù):1000m/sec2

          位移傳感器

          最小分辨率:≤3um

          行程范圍:1-5mm

          控制器

          輸入/輸出控制信號(hào)采樣頻率

          加速度:2000Hz 位移:125Hz

          分辨率 輸入:18bit 輸出:16bit


          暫無(wú)評(píng)價(jià)

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