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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          深圳市萬德泉科技有限公司


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          BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼復(fù)合真空計

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          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:簡俊勇查看聯(lián)系方式

          更新時間:2022-10-19 14:32:56瀏覽次數(shù):271次

          聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)

          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:20條

          所在地區(qū):

          聯(lián)系人:簡俊勇

          產(chǎn)品簡介

          BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼復(fù)合真空計BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計 INFICON 貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真......

          詳細(xì)介紹

          BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計


          INFICON
          貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊型裝置中,測量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計,價格經(jīng)濟(jì),且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。傳感元件自帶的在軌校準(zhǔn)數(shù)據(jù)在更換傳感器時確保了高再現(xiàn)性。


          益處

          • 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
          • 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
          • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)單絲,防止過早燒毀
          • 兩根使用壽命長的氧化釔銥絲
          • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
          • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
          • 易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保高再現(xiàn)性
          • RoHS 合規(guī)

          典型應(yīng)用

          • 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
          • 工業(yè)鍍膜
          • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

          新聞

          現(xiàn)有全新EtherCAT數(shù)字接口供應(yīng)!


          零件號

          BPG402-S
          零件號 明細(xì)
          353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
          353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
          353-572 BPG402-S 真空計
          353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
          353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
          353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
          353-576 BPG402-SD 型真空計
          353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
          353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
          353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
          353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R

          規(guī)格

          類型 BPG402-S
          測量范圍(空氣、O2、CO、N2 mbarTorr 5×10-10 … 1000
          精度
          10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
          可重復(fù)性
          10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
          除氣 (1)
          p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
          壓力, bar (absolute) 2
          溫度
          運行(環(huán)境) °C 0 … +50
          貯存 °C -20 … +70
          在法蘭處烘烤,無電子設(shè)備 BPG402-S °C 80
          無電子設(shè)備,在法蘭處烘烤 BPG402-SL °C 150
          電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
          輸出信號模擬
          輸出信號 V 0 … +10
          測量范圍 V +0.774 … +10
          電壓與壓強 volts per decade 0.75
          錯誤信號 V 0.1 / 0.3 / 0.5
          最小負(fù)載電阻 k? 10
          設(shè)定點繼電器
          設(shè)定點數(shù)量 1
          范圍 mbar 1×10-9 … 100
          繼電器觸點 n.o., potential free
          滯后 % of reading 10
          觸點額定值 V (dc)A (dc) ≤30
          數(shù)字功能 degas
          接口(數(shù)字)(2) RS232C
          發(fā)射控制 automatic / manual via interface
          單絲 two Yt2O3 coated Ir
          單絲狀態(tài)/繼電器 LED / relay
          電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
          電纜長度, (3) m (ft.) 100 (330)
          暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
          內(nèi)部容積 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)
          重量 KF / CF g 450 / 710
          保護(hù)等級 IP30
          Profibus DP
          波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
          地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
          數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
          模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
          設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 2
          設(shè)定點繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
          設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
          設(shè)定點繼電器: 滯后 % of reading 10
          設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 V (dc)A (dc) ≤30
          Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
          CDG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
          DeviceNet™
          協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
          數(shù)據(jù)率開關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
          電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
          電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
          電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
          MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
          數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
          模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
          技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
          設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge
          I / O 從屬傳訊 polling only
          設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量 2
          設(shè)定點繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 100
          設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
          設(shè)定點繼電器: 滯后 % of reading 10
          設(shè)定點繼電器: 觸點額定值 V (dc)A (dc) ≤30
          DeviceNet™ 電源電壓 V (dc)A (dc) +11 … +25
          真空計電源電壓 V (dc)A (dc) +20 … +28
          DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
          BPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
          以太網(wǎng)
          以太網(wǎng)協(xié)議 protocol specialized for EtherCAT
          通訊標(biāo)準(zhǔn) ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
          節(jié)點地址 Explicit Device Identification
          物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
          以太網(wǎng)數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
          過程數(shù)據(jù) Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
          郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information
          以太網(wǎng)連接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
          電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher
          電纜長度 m (ft.) ≤100 (330)

          1) 除氣期間降低精度

          2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場總線

          3) 適用于 RS232C 運行 <30m


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