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CDG100D電容膜片真空計

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更新時間：2022-10-19 14:40:41瀏覽次數(shù)：240次

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深圳市萬德泉科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

CDG100D電容膜片真空計SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。 CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 100 毫托至 1000 托滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣......

詳細介紹

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。 CDG100D
真空計溫度控制在 100 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 100 毫托至 1000
托滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON
電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。 INFICON
CDG 品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

益處

擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務，的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

新聞

配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用！

零件號

規(guī)格

類型		1000 ... 500 Torr / mbar	200 ... 1 Torr / mbar	0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.4
溫度效應
零點	percent FS/°C	0.0025	0.0025	0.005
滿量程	% of reading / °C	0.02	0.02	0.02
壓力，	kPa (absolute)	400	260	130
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003
讀數(shù)	percent FS	0.01	0.01	0.01
建議的讀數(shù)	percent FS	0.05	0.05	0.05
建議的控制壓力	percent FS	0.5	0.5	0.5
溫度
運行（周圍環(huán)境）（5）	°C	+10 … +50
在法蘭處烘烤	°C	≤110	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +65	–40 … +65	–40 … +65
電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時	W	≤15	≤15	≤15
運行溫度	W	≤10	≤10	≤10
輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10
反應時間 (2)	ms	30	30	130 / 30 ⁽³⁾
保護等級		IP 40	IP 40	IP 40
標準
CE 合規(guī)		EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) (5)		SEMI S2
電氣連接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
設定點
設定點數(shù)量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
繼電器觸點	V (dc)A (dc)	≤30	≤30	≤30
滯后	percent FS	1	1	1
診斷端口
協(xié)議		RS232-C	RS232-C	RS232-C
讀數(shù)		pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
設置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR®	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管	g	837	837	837
重量 DN 16 ISO KF	g	852	852	852
重量 DN 16 CF-R	g	875	875	875
重量 8 VCR®	g	897	897	897

EtherCAT
協(xié)議 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
通訊標準		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
數(shù)字功能設置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
過程數(shù)據(jù)		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)	≤100 (330)

DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only	DeviceNet™, group 2 slave only	DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率	kBaud	125, 250, 500 by switch or network programmable	125, 250, 500 by switch or network programmable	125, 250, 500 by switch or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)	500 (1650)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)	250 (825)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)	100 (330)	100 (330)
MAC ID		address 00 - 63 by switch or network programmable	address 00 - 63 by switch or network programmable	address 00 - 63 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
數(shù)字功能設置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
技術(shù)規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)	DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)	DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
設備類型		''VG'' vacuum gauge	''VG'' vacuum gauge	''VG'' vacuum gauge
I / O 從屬傳訊		polling only	polling only	polling only
真空計 D 型連接器的電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W	+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W	+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
為微型連接器上的 DeviceNet 收發(fā)器提供電壓		24 V nom / <2 W (11 … 25 V)	24 V nom / <2 W (11 … 25 V)	24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 連接器		microstyle, 5 pin, male	microstyle, 5 pin, male	microstyle, 5 pin, male
CDG（模擬輸出、CDG 電源電壓、設定點）連接器		D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male

Profibus DP
波特率	kBaudMbaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		address 00 - 125 by switch or network programmable	address 00 - 125 by switch or network programmable	address 00 - 125 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID	pressure, status, ID
數(shù)字功能設置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 連接器		D-sub, 9 pin, female	D-sub, 9 pin, female	D-sub, 9 pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male