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          行業(yè)產(chǎn)品

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          新耕(上海)貿(mào)易有限公司


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          LT / S4 / S8單片電鍍設(shè)備

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          更新時間:2022-11-22 18:07:55瀏覽次數(shù):254次

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          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:3條

          所在地區(qū):

          產(chǎn)品簡介

          LT / S4 / S8單片電鍍設(shè)備

          詳細(xì)介紹

          Classone是致力于單片電鍍設(shè)備的設(shè)備提供商, 產(chǎn)品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝,廣泛應(yīng)用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產(chǎn)業(yè),以及MEMSSi基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

          儀器簡介

          l 配置:2”~8” 手動2/ 全自動4(片盒對片盒) / 全自動8(片盒對片盒)

          l 領(lǐng)域 :三五族(GaAs / SiC),GaN功率及射頻器件、VCSELs的器件等化合物產(chǎn)業(yè)及MEMSSi基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等

          l 制程 : 單片金屬電鍍包含,Au,Cu,Ni,SnAg, In,SnAg等金屬


          特點

          l Classone公司有多年研發(fā)及制造單片電鍍設(shè)備的技術(shù)經(jīng)驗,團隊的主要技術(shù)人員來自某12寸單片電鍍設(shè)備的廠家。

          l Classone設(shè)備具有高穩(wěn)定性與高可靠度

          l Classone有的軟硬件設(shè)計及完善QC系統(tǒng)

          l Classone設(shè)備配置靈活,包含手動、半自動、全自動4腔或者8(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發(fā)及量產(chǎn)客戶需求

          l Classone單片電鍍設(shè)備在化合物半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)高占有率:目前世界范圍內(nèi)裝機數(shù)量超過100

          l Classone電鍍設(shè)備主要技術(shù)優(yōu)勢:

          n 單片的face-down電鍍方式

          n 接觸樣片的電極和密封環(huán)的分體設(shè)計,防止密封環(huán)釋放的時候黏連樣片造成碎片

          n 流場通過diffuser的過濾,確保接觸樣片的區(qū)域的電鍍液濃度均勻性

          n Au電鍍利用的硬件設(shè)計,防止電鍍頭旋轉(zhuǎn)造成的電鍍圖形表面斜面的缺陷;

          n Cu電鍍,電鍍液和添加劑的單向通道設(shè)計,防止設(shè)備的陽極燒添加劑,節(jié)省添加劑成本超過90%;

          n 對高深寬比的圖形側(cè)壁電鍍均勻性;

          應(yīng)用領(lǐng)域

          l 三五族化合物半導(dǎo)體(GaAs / SiC,GaN功率及射頻器件)

          l MEMS微機電

          l 濾波器器件

          l 石英基底的光通訊器件

          Au材料孔的側(cè)壁及底面電鍍

          Cu材料孔的填充

          SnAg/Cu的多層電鍍

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