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          安徽智微科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)
          
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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號(hào)
          
							
          品       牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)其他
          
		                    							
          所  在  地合肥市
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
          聯(lián)系方式：江先生查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時(shí)間：2022-08-01 16:20:01瀏覽次數(shù)：197次
							
          
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          經(jīng)營(yíng)模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：43條
          
						
          所在地區(qū)：安徽合肥市
          
						
          聯(lián)系人：江先生
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          產(chǎn)品名稱(chēng)：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)：曝光場(chǎng)面積：20mm×20mm分辨力：2μm
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
          產(chǎn)品名稱(chēng)：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)

          主要技術(shù)指標(biāo)：

             曝光場(chǎng)面積：20mm×20mm
             分辨力：2μm；
             照明不均勻性：±2%
             物鏡倍率：2.5倍(縮小)
             光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
             基片尺寸：4 英寸
             工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
             工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度：±0.65μm
             調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm
             對(duì)準(zhǔn)精度：±0.5μm
             調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程：5mm
             檢焦：CCD檢測(cè)，檢測(cè)精度0.5微米
             轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程：±4°以上
             基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
          主要技術(shù)配置：
          （1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡;   350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗);   XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái);   光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇
          （2）工件臺(tái)系統(tǒng)：X臺(tái)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵（美國(guó)）   Y臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵2（美國(guó)）   轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系 調(diào)平臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（3套）、調(diào)平機(jī)構(gòu)   Z臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu); 承片臺(tái)：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
          （3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件
          （4）對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對(duì)準(zhǔn)軟件
          （5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、顯示器、接口
          （6）其他部件：底座 減震器（4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
          （7）其他附件：真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵);空壓機(jī)一臺(tái)（*泵）;管道

          
			        
          
			    
          
                			    
                                                				
          
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