advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢
鋼帶結構
高潔凈度、耐高溫、耐腐蝕磁流體密封技術
高真空度、低漏率拋光不銹鋼手臂、亮面不銹鋼護罩
表面美觀、高潔凈度精簡傳動
精簡傳動結構，高效，長壽命軟件控制系統(tǒng)
效果優(yōu)良的碰撞保護功能、動態(tài)糾偏功能質(zhì)量可靠
高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴格檢驗，確保高精度、高壽命模塊化
方便維修維護
Application areas
產(chǎn)品應用領域
晶圓傳輸工作
托盤傳輸工作
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
有效載荷
≤2kg
-
工作范圍
≤970
-
控制軸數(shù)
2
-
重復定位精度
±0.1
-
安裝方式
上法蘭安裝
智能制造網(wǎng)