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          沈陽新松機器人自動化股份有限公司
          
			  
			  
          
				
				
			  
          

          




 
 
				
		
          
			
          
				
			
          
		
          
		
          
			
          
				
          
					
          立式爐Mini STK 
          
					
                             
					                    
					    
          
                        
          
                        						    
          
															
          參  考  價:面議  
          
							                            
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          
						
          
                        						
						
          
							
          
								
          產(chǎn)品型號
          
								
          品牌
          
	                            
          廠商性質(zhì)其他
          
	                            								
          所在地沈陽市
          
							
          
							
                            
          
                                                            
          
							
          
								
          
									更新時間：2025-01-17 07:52:55瀏覽次數(shù)：62次
								
          
								聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
							
          
						
          
						
                        
          
											
          
                    
					                 
            			 
				
          
			
          
		
          
		
          
			
          
				
          
					
				    
          
				        				        
				        
          
				            
          
				                
          
				                    				                
          
				            
          
				            
          
				            立式爐Mini STK應(yīng)用于立式爐管設(shè)備前端，適用于FOUP的轉(zhuǎn)運 、暫存和開盒。
          
				        
				        
          
							
          
								
           
               
          advantages
                   
          產(chǎn)品優(yōu)勢
               
               
               
                   
                   
                   
                   
          • 一體成型設(shè)計
            整機一體成型設(shè)計
          • 自主研發(fā)
            自主研發(fā)FTR機械手，適配多類型300mm FOUP
          • 搭載雙口開盒器
            后端搭載雙口開盒器（FIMS），實現(xiàn)Front N2 purge
          • 可選配
            可選配Shelf N2 purge
                  
               
           
           
           
               
          Application areas
                   
          產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
               
               
               
          • 氧化工藝立式爐管前端配套
          • 退火工藝立式爐管前端配套
          • LPCVD工藝立式爐管前端配套
          • ALD工藝立式爐管前端配套
              
           
           
           
                   
                       
          parameter
                       
          產(chǎn)品參數(shù)
                   
                   
                       
                                      
          •                  
            外形尺寸
                                 
                                                             1745×1100×3500（mm）                    
                             
            •                              
          •                  
            工位數(shù)
                                 
                                                             18                    
                             
            •                              
          •                  
            負載
                                 
                                                             ≤10kg                    
                             
            •                              
          •                  
            重復(fù)位置精度
                                 
                                                             ±0.1mm                    
                             
            •                              
          •                  
            振動
                                 
                                                             ≤0.3g                    
                             
            •                              
                   
               
           
                 
							
          
				            
				        
          
                                            
				        
          
				            
				            				            				            
          
				                
          
				                    
           
           
          
				                
          
				                
          
				                    
          真空機械手 Archer 系列
          
				                     直驅(qū)電機結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新
				                
          
				            
          
				            				            				            				            
          
				                
          
				                    
           
           
          
				                
          
				                
          
				                    
          大氣機械手Blade-S225
          
				                     大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用的結(jié)構(gòu)加強了
				                
          
				            
          
				            				            				            				            
          
				                
          
				                    
           
           
          
				                
          
				                
          
				                    
          真空機械手 SM11
          
				                     直驅(qū)電機結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運行
				                
          
				            
          
				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				            				        
          
				    
          

				
          
			
          
		
          

               
        

		

		        



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 



	
	
	

          
	
          
		
          
			
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