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硅芯電阻測試儀
硅芯電阻率測試儀是按照我國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1551-1995及美國材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)（ASTM）*的材料驗(yàn)收檢測方法設(shè)計(jì)。它適合于測量橫截面面積均勻的圓型，方型或矩形單晶錠的電阻率，在硅芯、檢驗(yàn)棒電阻率測量上測量精度準(zhǔn)確。由于硅芯電阻率測試儀的測量電流是從長棒兩端進(jìn)出，遠(yuǎn)離電壓測量探針，因此減少了電流流過金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)，如珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等，使得測量精度大大提高。
產(chǎn)品特點(diǎn)
本儀器主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試臺(tái)及兩探針頭組成。儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流開關(guān)，在測量某些材料時(shí)，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)被測材料。儀器配置“小游移探針頭”，間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性的準(zhǔn)確度。本機(jī)配用專業(yè)測量軟件，設(shè)計(jì)語言為VC++，可對四探針、兩探針電阻率測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測量數(shù)據(jù)，特定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)格式，顯示變化曲線、正反向電阻率平均值、電阻率的zui大值、電阻率zui小值，給測量帶來很大方便。
兼容性：適用于通用電腦，支持Windows XP、Vista。
技術(shù)參數(shù)
測量范圍
■ 可測硅晶體電阻率：0.005-50000Ω·cm
■ 可測硅棒尺寸：zui大長度300mm；直徑20mm（均可按用戶要求更改）。
恒流源
■ 輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
■ 量程：
0.001-0.01mA（1-10μA）
0.01-0.1mA（10-100μA）
0.1-1.0mA
1.0-10mA
10-100mA
■ 恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.05%
直流數(shù)字電壓表
■ 測量范圍：0-199.99mV
■ 靈敏度：10μA
■ 基本誤差：±（0.004%讀數(shù)±0.01%滿度）
■ 輸入阻抗：≥0.3%
電阻測量誤差
■ 誤差：≤0.3%
探針參數(shù)
■ 兩探針頭
■ 探針間距：1.59±0.01mm 探針直徑Φ0.8mm
■ 游移率：＜0.2% 探針材料：硬質(zhì)合金（WC）
■ 探針壓力：3±1N/單針
供電電源
■ AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率：12W
使用環(huán)境
■ 溫度：23±2℃ 相對溫度：≤65%
■ 無較強(qiáng)的電場干擾，無強(qiáng)光直接照射。
重量、體積
■ 主機(jī)重量：7.5Kg