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磁場(chǎng)成像顯微鏡系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

磁場(chǎng)成像顯微鏡系統(tǒng) Magma SSM 是一種單磁傳感器系統(tǒng)，可以在封裝和PC板水平上生成設(shè)備的當(dāng)前圖像。該儀器利用一種超導(dǎo)量子干涉裝置（SQUID）來(lái)檢測(cè)只需要納安培電流設(shè)備中的電流，這些電流組合成一幅圖像，可與光學(xué)基準(zhǔn)和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)一起用于定位三維靜態(tài)缺陷。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Magma磁場(chǎng)成像顯微鏡系統(tǒng)（簡(jiǎn)稱Magma）是Neocera Magma公司研發(fā)的一種新型半導(dǎo)體失效分析工具。它擁有一套獨(dú)\特的傳感器和技術(shù)，可以檢測(cè)和定位所有靜態(tài)缺陷。

Magma具有極大的可靠性，適用于探測(cè)開(kāi)路、短路、漏電和高電阻開(kāi)路的位置。此外，磁場(chǎng)成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多層器件。

在半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域，Magma可以定位微電子系統(tǒng)中的所有靜態(tài)缺陷（短路、漏電和開(kāi)路）。它可以容納Die-level互連的300毫米晶圓、最\終封裝的PC板、以及所有類型的封裝器件，包括各種具有異質(zhì)集成的多芯片模塊器件、疊層器件、3DICs和SiP。

新型平臺(tái)的設(shè)計(jì)使用了終端用戶的輸入，以提供用戶友好型的設(shè)置和操作，以及更高的工作量和更低的運(yùn)營(yíng)成本。

基礎(chǔ)配置：配備高靈敏度的SQUID傳感器，用于低電流、無(wú)損檢測(cè)短路、漏電和高電阻開(kāi)路?？蓪?shí)現(xiàn)低成本定位，用于檢測(cè)封裝器件和PC板中的短路及漏電。

EFI工具：能夠以極\高的精確度檢測(cè)失效的開(kāi)路故障。

HiRes工具：將兩個(gè)傳感器組合成一個(gè)工具。在靠近電流掃描時(shí)，SQUID傳感器用于檢測(cè)盡可能最小的電流，磁阻傳感器用于獲得絕\對(duì)\最\佳的空間分辨率。因此，其具有兩方面的優(yōu)點(diǎn)：世\界\級(jí)的空間定位和世\界\級(jí)的靈敏度。

產(chǎn)品應(yīng)用

Magma SSM是一種單磁傳感器系統(tǒng)，可以在封裝和PC板水平上生成設(shè)備的當(dāng)前圖像。該儀器利用一種超導(dǎo)量子干涉裝置(SQUID)來(lái)檢測(cè)只需要納安培電流設(shè)備中的電流，這些電流組合成一幅圖像，可與光學(xué)基準(zhǔn)和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)一起用于定位三維靜態(tài)缺陷。

這種電磁成像是無(wú)損的。由于在典型設(shè)備中使用的大多數(shù)材料都有磁場(chǎng)滲透，所以不需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行任何方式的反處理就可以開(kāi)始定位故障。此外，使用如此小的電流可以保護(hù)被測(cè)設(shè)備免受進(jìn)一步的損壞，并且可能是在嘗試檢測(cè)具有非常高電阻(100k ω)的電路故障時(shí)的唯\一選擇。該儀器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和電阻打開(kāi)。該系統(tǒng)可用于成像交流和/或直流磁場(chǎng)(同樣，電流)取決于設(shè)備的要求。

儀器參數(shù)

特征	詳情
電磁掃描部分
短路缺陷定位(SQUID)	3um
空間分辨率 (SQUID)	2um
總掃描面積(SQUID)	不少于100mm *100mm
當(dāng)前敏感度(SQUID)	· 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um
磁敏感型(SQUID)	15 pT/√Hz Typical
成像深度 (SQUID)	10mm
工作頻率(SQUID)	DC to 25kHz
其他部分
功能發(fā)電機(jī)	±10V @ 100mA
功能發(fā)電機(jī)頻率	DC to 200kHz
鏡頭分辨率	2um (in NIR or Visible)
電源	· 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V @ 10A
操作系統(tǒng)	Windows 10 64-bit