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Aerotech 納米級(jí)定位平臺(tái)-ANT系列
一、ANT95-L系列納米級(jí)精密定位平臺(tái) 

優(yōu)點(diǎn)： 
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，大行程 

1：高分辨率1nm 
2：重復(fù)定位精度±25nm 
3：定位精度 ±250nm 
4：行程25-50mm 
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì) 
可以提供X,XY,XYZ等多種組合。可以實(shí)現(xiàn)1nm的zui小步進(jìn)。 

二、ANT130-L系列納米級(jí)精密定位平臺(tái) 

優(yōu)點(diǎn)： 
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，大行程35-160mm 

1：高分辨率1nm 
2：重復(fù)定位精度±25nm 
3：定位精度 ±250nm 
4：行程35-160mm 
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì) 
可以提供X,XY,XYZ等多種組合。可以實(shí)現(xiàn)1nm的zui小步進(jìn)。 

三、Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 

ANT95-L-Z 與ANT130-L-Z系列納米級(jí)精密定位平臺(tái) 
優(yōu)點(diǎn)： 
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，大行程25-60mm 

1：高分辨率2nm 
2：重復(fù)定位精度±75nm 
3：定位精度 ±300nm 
4：行程25-60mm 
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì) 
可以實(shí)現(xiàn)2nm的zui小步進(jìn)。 

四、納米垂直升降臺(tái) 

垂直升降，非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，行程3-5mm 

1：高分辨率1nm 
2：重復(fù)定位精度±75nm 
3：定位精度 ±200nm 
4：行程3-5mm 
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì) 
可以實(shí)現(xiàn)1nm的zui小步進(jìn)。 

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