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          北京高控科技有限公司

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          Aerotech氣浮平臺
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          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 產(chǎn)品型號
          • 品牌
          • 代理商 廠商性質(zhì)
          • 北京市 所在地

          訪問次數(shù):805更新時間:2019-07-20 18:07:32

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          聯(lián)人:
          張巨鵬

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          產(chǎn)品簡介
          Aerotech氣浮平臺
          ABL1000、ABL3600、ABL8000、ABL9000、AHL9000等
          產(chǎn)品介紹

          Aerotech氣浮平臺

          ABL1000氣浮平臺

          1專為高性能校準和裝配應用設計
          2分辨率達2nm的直線編碼器反饋
          3閉環(huán)分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
          4全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
          5低噪音線性放大器
          6全部非接觸設計
          行程≤150mm
          精度±0.20um
          重復定位精度±0.05um
          直線度±0.25um
          平面度±0.25um 
          更多產(chǎn)品信息請高控張巨鵬 

           

          ABL3600氣浮平臺
          1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測特應用設計
          2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
          3非接觸直線編碼器反饋,精度高
          4雙直線電機驅(qū)動XY軸
          5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
          行程≤250mm
          精度±1um
          重復定位精度±0.20um
          直線度±0.50um
          平面度±1um 

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          ABL8000氣浮平臺
          1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
          2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性*
          3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
          4行程達1米
          5直線編碼器或激光干涉儀反饋
          6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
          行程≤1000mm
          精度±0.50um
          重復定位精度±0.20um
          直線度±0.40um
          平面度±0.40um 

          ABL9000氣浮平臺
          1世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
          2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
          3行程達1.2米X1.2米
          4Y軸雙直線電機驅(qū)動
          5直線編碼器或激光干涉儀反饋
          6主動控制偏轉(zhuǎn)
          行程≤1200mm
          精度±0.50um
          重復定位精度±0.10um
          直線度±0.50um
          平面度±0.50um 
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          AHL9000直線電機平臺
          1專為晶片檢測,平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
          2掃描軸是空氣軸承,步進軸是機械軸承
          3行程達1.2米X1.2米
          4雙直線電機驅(qū)動步進軸
          5直線編碼器或激光干涉儀反饋
          行程≤350mm
          精度±1.0um
          重復定位精度±0.20um
          直線度±0.60um
          平面度±0.60um 


          ABG10000氣浮平臺
          1氣浮導軌實現(xiàn)超平滑運動
          2所有軸都預加載荷
          3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅(qū)動
          3行程達1mx1m
          4非接觸直線編碼器(光柵)
          5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
          6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測.
          Travel行程≤1000mm
          Accuracy精度±2.0um
          Load負載84kg 


          FiberCouple 130平臺
          1同一條導軌上兩個運動平臺
          2特立或并列運動
          32.5nm分辨率
          4非接觸直線電機驅(qū)動
          5交鑰匙的配套驅(qū)動和控制系統(tǒng)
          6適合輔助軸 
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          VascuLathe ACS/ASR
          1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
          2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動化
          3.可選夾緊裝置夾緊管
          4*的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
          5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)
          6.可選擇濕切割
          7.擁有兩項PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956 

          LaserTurn
          1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
          2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
          3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過
          4.可選擇在前后加工的平臺
          5.直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)電機技術(shù) 
          相關(guān)文檔下載

          PlanarHD氣浮平臺
          1zui大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
          2zui快的轉(zhuǎn)向和zui小的穩(wěn)定時間
          3主動偏轉(zhuǎn)控制
          4直線光柵或激光干涉儀反饋
          5行程1.2mx1.2m

          行程≤1200mm
          精度±300nm
          重復定位精度±50nm
          分辨率0.25nm 
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          APT 系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺
          1滿足安全,國防建設和監(jiān)測市場的需要
          2把*的高精密機械與業(yè)界的控制技術(shù)結(jié)合在一起
          3慣性穩(wěn)定
          4包含內(nèi)置滑環(huán),可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
          5高定位精度和速度性能
          6易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路
          7低維護,高可靠性提供zui低的擁有成本
          平轉(zhuǎn):zui高速度180°/秒,持續(xù)360°
          傾斜:zui高速度180°/秒,范圍為±95°
          位置分辨率:7.6弧秒
          定位精度:120弧秒
          有效載荷:35公斤
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