高精度電渦流傳感器SMT-9700

半導(dǎo)體晶片位置的測(cè)定（平板影印術(shù)）

SMT是一款專門為客戶定制的OEM產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、

2或3通道可配電渦流探頭。擁有埃米級(jí)分辨率，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺

寸小巧，并可配13種電渦流探頭。同時(shí)材料、線性、分辨率、帶寬各種

性能可自行優(yōu)化。 

目標(biāo)

      1對(duì)于在應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片的成產(chǎn)的平板影印術(shù)過程中，精確測(cè)定Z軸位置，精度保持在亞原子水平。

      2 保持高分辨率和可重復(fù)性。

      3 避免不良的影響，例如 抖動(dòng)，磁滯，以及熱漂移等一些列在其他階段處理中發(fā)生的情況。

高精度電渦流傳感器解決方案 

 在精確控制Z軸高度的過程中，晶片所在的位置必須精確地在能源的焦平面上。Kaman系統(tǒng)可以準(zhǔn)確測(cè)量Z軸的位置，并且提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號(hào)，以防止超出可承受范圍。

高精度電渦流傳感器特點(diǎn)

     1 類型：SMT-9700

     2 非接觸性：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個(gè)傳感器均可以無(wú)接觸地測(cè)量到目標(biāo)體的位置。

     3 高分辨率：系統(tǒng)可分辨出1納米的位置改變。

     4 可重復(fù)使用。

     5 應(yīng)用廣泛。

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