高精度電渦流傳感器SMT-9700精密打磨

在精確控制Z軸高度的過程中，晶片所在的位置必須精確地在能源的焦平面上。Kaman系統(tǒng)可以準(zhǔn)確測量Z軸的位置，并且提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號，以防止超出可承受范圍。

目標(biāo)

     1 控制高精度磨床伺服系統(tǒng)的位置

     2 保持磨輪的位置在納米的距離內(nèi)（即和成品距離在納米級）

     3 測量環(huán)境中有污染物，例如機(jī)器油之類的。

解決方案

     傳感器位于磨床上端（如圖所示）監(jiān)測轉(zhuǎn)動軸的徑向位置。雙極性的模擬輸出信號表明了磨輪的相對于地面部分的位置。通過閉環(huán)反饋系統(tǒng)，傳感器的信號直接控制磨床的位置。 

注：Force applied to workpiece causes spindle deflection :對加工件的作用力導(dǎo)致軸軸向偏差

      High speed motor 60000 to 100000 RPM : 高速旋轉(zhuǎn)電動機(jī)，60000 到100000 轉(zhuǎn)/秒。

      Workpiece：加工片

      Quill / Grinding wheel : 磨輪

      Pivot：支點(diǎn)

      Actuator for positioning of grinding quill ：為打磨軸定位的激勵

      Processor : 處理器

      Controller ： 控制器

高精度電渦流傳感器特點(diǎn)

     1 類型：SMT-9700高精度電渦流傳感器

     2 非接觸性: 應(yīng)用渦電流技術(shù)，傳感器無需接觸就可以測量目標(biāo)物體的位置。整個系統(tǒng)不需移動，是一個非常穩(wěn)定的系統(tǒng)。

     3 高靈敏性：系統(tǒng)的靈敏度為 0.1微米/毫伏，從而可以精確控制磨輪的位置。

     4 用戶自定義設(shè)計：微密封處理裝置可以保護(hù)傳感器的外表機(jī)器油或者冷凍劑的污染。SMU-9000-6UI 型號的傳感器包含有完整的電路，這種結(jié)構(gòu)排除了一般電子傳感器：傳感器—電纜這種連接結(jié)構(gòu)，從而降低了系統(tǒng)被環(huán)境污染的可能性。

高精度電渦流傳感器特點(diǎn)

     1 類型：SMT-9700

     2 非接觸性：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個傳感器均可以無接觸地測量到目標(biāo)體的位置。

     3 高分辨率：系統(tǒng)可分辨出1納米的位置改變。

     4 可重復(fù)使用。

     5 應(yīng)用廣泛。

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