1.美國INFCON公司提供的Transpector2、100、200、300amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器的組合，改進并提高氫氣的監(jiān)測，的峰值和位置的穩(wěn)定性，與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍，9個數(shù)量級的電子學動態(tài)量程，分壓測量從1*10-4～2*10-14Torr，廣泛的應用于PVD機臺或工藝狀態(tài)，刻蝕，CVD注入。
更為強大TranspectorXPR3最小測量分壓可達到1*10-2Torr，廣泛適用于濺射，電子束蒸發(fā)等鍍膜工藝的過程控制。
在線質(zhì)譜IPC400的研制，解決客戶在高壓強下分析氣體成分的可能性，為客戶提供在線實時監(jiān)測工藝狀態(tài)的可能。
在線質(zhì)譜儀Transpector CPM，曲線可以從大氣取相，更為寬廣的測量空間。CPM 緊湊型過程監(jiān)控器是一款功能全面、結(jié)構緊湊且經(jīng)濟實惠的氣體分析儀，適用于現(xiàn)場監(jiān)控復雜的過程。
2.QMG700高性能四極質(zhì)譜儀。
高測量速度0.125 ms/amu、超高靈敏度和寬廣的動態(tài)范圍掃描表示空氣的譜線.在空氣中檢測到136 Xe (氙) 的含量為 7,8 ppb, 比噪聲水平高數(shù)個量級.達到超過 10 個量級的動態(tài)范圍。質(zhì)量數(shù)1-1024amu可選擇，離子源類型可選。
3.PPM422等離子體過程檢監(jiān)控器是一種集成有能量分析器的差分泵質(zhì)譜儀，可用于測量中性粒子、正離子和負離子，以及對等離子加工過程中的離子和中性粒子進行能量分析。
功能特點：檢測等離子體中的中性粒子和正負離子
中性粒子和正負離子能量分析
自由基測量
等離子過程的終點檢測
寬泛的動態(tài)量程
高測量速度
vacuum H
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